[发明专利]压电式高频振动台无效

专利信息
申请号: 201010182649.1 申请日: 2010-05-21
公开(公告)号: CN101854153A 公开(公告)日: 2010-10-06
发明(设计)人: 杨丽峰;于梅 申请(专利权)人: 中国计量科学研究院
主分类号: H03H9/15 分类号: H03H9/15
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王莹
地址: 100013 北京市朝阳区北三*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种压电式高频振动台,属于力学振动计量领域。为了解决现有高频振动台粘结胶老化对振动台长期稳定性的影响,以及进一步提高振动台失真度、谐振峰等关键技术指标,本发明提供的振动台,包括:基座,基座上端叠置压电陶瓷叠堆,压电陶瓷叠堆上端叠置台面;预应力螺栓,设置于基座内表面底部的中央位置,并设置为穿过基座和压电陶瓷叠堆后并插入台面内,且螺栓位于压电陶瓷叠堆内的部分套有绝缘套管;压电陶瓷叠堆,包裹于绝缘套管外部,内部各层之间设置有电极。本发明技术方案保证了振动台的长期稳定性,达到提高功率容量及改善谐振频率的目的;基本可实现在工作频率范围内无谐振峰;可使振动台满足高频加速度计的大振幅校准。
搜索关键词: 压电 高频 振动
【主权项】:
一种压电式高频振动台,其特征在于,包括基座、压电陶瓷叠堆、台面以及预应力螺栓;所述基座上端叠置所述压电陶瓷叠堆,所述压电陶瓷叠堆上端叠置所述台面;所述预应力螺栓设置于所述基座内表面底部的中央位置,并设置为穿过所述基座和压电陶瓷叠堆后并插入所述台面内,且所述预应力螺栓位于所述压电陶瓷叠堆内的部分套有绝缘套管;所述压电陶瓷叠堆包裹于所述绝缘套管外部,所述压电陶瓷叠堆的各层之间设置有电极。
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  • 蔡俊胤;许丰家;黄俊哲;王钦宏 - 财团法人工业技术研究院
  • 2013-02-28 - 2014-07-09 - H03H9/15
  • 本发明公开一种微机电共振装置,上述微机电共振装置包括单一或多个共振单元,其中上述的每一个些共振单元包括一基材,其中具有一沟槽;一对第一电极,设置于上述沟槽的一对侧壁上;一压电材料,填充于上述沟槽,且覆盖上述第一电极;一第二电极,嵌入上述压电材料且通过上述压电材料与上述对第一电极隔开,其中位于上述沟槽中的上述第二电极与上述对第一电极平行。
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