[发明专利]飞秒激光加工装置

摘要

一种飞秒激光加工装置，包括飞秒激光器，沿该飞秒激光器输出的飞秒激光光路依次是小孔光阑、平行光栅对、双色镜、显微物镜和加工对象，该加工对象固定于三维精密电控位移平台上并使所述的显微物镜的焦点位于该加工对象的内部，所述的双色镜与所述的飞秒激光光路的夹角为45°，在该双色镜的垂直方向设置照明光源，该照明光源所发出的白光经所述的双色镜反射后再通过显微物镜聚焦于加工对象的加工区域，为整个加工过程提供照明，在所述的双色镜另一反射方向依次设置透镜和CCD，所述的三维精密电控位移平台和CCD与计算机相连。本发明装置能实现各向同性的高精度加工，可应用于光波导和微流体通道制备中。

主权项

一种飞秒激光加工装置，包括一台飞秒激光器(1)，其特征在于构成还包括：沿所述的飞秒激光器(1)输出的飞秒激光光路依次是小孔光阑(2)、平行光栅对(3)、双色镜(5)、显微物镜(6)、加工对象(7)，该加工对象(7)固定于三维精密电控位移平台(8)上并使所述的显微物镜(6)的焦点位于该加工对象(7)的内部，所述的双色镜(5)与所述的飞秒激光光路的夹角为45°，在该双色镜(5)的垂直方向设置照明光源(9)，该照明光源(9)所发出的白光经所述的双色镜(5)反射后再通过显微物镜(6)聚焦于加工对象(7)的加工区域，为整个加工过程提供照明，在所述的双色镜(5)另一反射方向依次设置透镜(10)和CCD(11)，所述的三维精密电控位移平台(8)和CCD(11)与计算机(12)相连。