[发明专利]采用MVPE两步法制备氧化锌透明电极的方法有效
| 申请号： | 201010143078.0 | 申请日： | 2010-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN101847677A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 王晓峰;杨华;刘祯;曾一平;王国宏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L33/36 | 分类号： | H01L33/36;H01L33/42 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用MVPE两步法制备氧化锌透明电极的方法，包括：第一步，生长缓冲层；第二步，生长电极层；其中，生长缓冲层时金属舟的温度比生长电极层低30至200℃；生长缓冲层时金属舟的载气流量是生长电极层时的1/10至1倍；生长缓冲层时衬底的温度比生长电极层时高0至150℃。利用本发明，有效改善了氧化锌透明电极的界面性质，降低了LED的工作电压和串联电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 mvpe 步法 制备 氧化锌 透明 电极 方法 | ||
【主权项】：
一种采用MVPE两步法制备氧化锌透明电极的方法，其特征在于，包括：第一步，生长缓冲层；第二步，生长电极层；其中，生长缓冲层时金属舟的温度比生长电极层时低30至200℃；生长缓冲层时金属舟的载气流量是生长电极层时的1/10至1倍；生长缓冲层时衬底的温度比生长电极层时高0至150℃。
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