[发明专利]一种难熔金属表面的铂族金属涂层及其制备方法无效
| 申请号： | 201010123869.7 | 申请日： | 2010-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN101787514A | 公开（公告）日： | 2010-07-28 |
| 发明（设计）人： | 陈照峰;吴王平;丛湘娜;王亮兵 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/34;B32B15/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明为难熔金属10提供一种铂族金属涂层30，该铂族涂层30与难熔金属基材10之间具有一个0.2～2微米厚的过渡层20，过渡层20中从难熔金属10基材一侧到铂族金属涂层30一侧，铂族金属元素依次递增，直至过渡层20结束，铂族金属元素含量达到100％，铂族金属涂层30厚度在100微米以内。本发明提供一种在难熔金属10表面制备铂族金属涂层30的方法。该方法在真空炉内进行，使用铂族金属作为靶材，靶材电压范围在0～-1200V之间，难熔金属作为基材，电压范围在0～-900V之间。使用氩气作为工作气氛，在真空室内压力达到15～55Pa时，接通直流电源，经过连续的溅射和反溅射、吸附和解吸附，最后形成具有择优生长取向的铂族金属涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属表面 金属 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
本发明为难熔金属提供一种铂族金属涂层，该铂族金属涂层与难熔金属基材之间具有一个过渡层，过渡层中从难熔金属基材一侧到铂族金属涂层一侧，铂族金属元素依次递增，直至过渡层结束，铂族金属元素含量达到100％。
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