[发明专利]化学机械研磨终点的检测方法

摘要

本发明公开了一种化学机械研磨终点的检测方法，用于晶圆表面金属的研磨终点检测，该方法包括：步骤A，以单色光源照射晶圆表面的检测区域，接收来自检测区域的反射光，以检测区域内的反射光强的平均值与入射光强的比值作为表面金属的面积百分比；步骤B，当单位时间内、表面金属的面积百分比的变化值的绝对值大于等于预定数值时，则表面金属开始被部分去除；步骤C，当单位时间内、表面金属的面积百分比的变化值的绝对值小于第一预定数值时，则初步判断达到研磨终点；步骤D、以检测区域内局部区域的反射光强的最大值与入射光强的比值作为表面金属的最大值；当单位时间内、表面金属的最大值的变化值的绝对值小于预定数值时，则达到研磨终点。

主权项

一种化学机械研磨终点的检测方法，用于晶圆表面金属的研磨终点检测，该方法包括：步骤A，以单色光源照射晶圆表面的第一检测区域，接收来自该第一检测区域的反射光，以该第一检测区域内的反射光强的平均值与入射光强的比值作为表面金属的面积百分比；步骤B，当第一单位时间内、表面金属的面积百分比的变化值的绝对值开始大于等于第一预定数值时，则表面金属开始被部分去除；步骤C，当第一单位时间内、表面金属的面积百分比的变化值的绝对值开始小于第一预定数值时，则初步判断达到研磨终点；其特征在于，在初步判断达到研磨终点后，该方法还包括步骤D，步骤D、以所述第一检测区域内的第二检测区域的反射光强的最大值与入射光强的比值作为表面金属的最大值；当第一单位时间内、表面金属的最大值的变化值的绝对值开始小于第二预定数值时，则达到研磨终点。