[发明专利]气体成分浓度测定装置

摘要

一种气体成分浓度测定装置，不用射出激光强度高的激光射出装置或大型聚光装置也能取得足够大的光检测值，测定所期望区间的对象成分的浓度。具有：激光射出装置（3），射出波长为对象成分的光吸收波长的第一激光束及波长为对象成分的非吸收波长的第二激光束；第一及第二散射体（5、7），在第一激光束和第二激光束照射范围并在第一激光束和第二激光束的射出方向隔着间隔配置；光检测器（9），检测第一散射体（5）散射的第一、第二激光束的第一、第二散射光、第二散射体（7）散射的第一、第二激光束的第三、第四散射光；浓度计算装置（11），基于光检测器（9）的检测值计算第一散射体（5）和第二散射体（7）间的对象成分浓度。

主权项

一种气体成分浓度测定装置，向气体中射出激光束，基于通过了该气体的所述激光束，对所述气体中的对象成分的浓度进行检测，其特征在于，具有：激光射出装置，射出波长为所述对象成分的光吸收波长的第一激光束以及波长为所述对象成分的非吸收波长的第二激光束；第一以及第二散射体，位于第一激光束和第二激光束的照射范围内，并且，在第一激光束和第二激光束的射出方向上隔开间隔配置；光检测器，对由第一散射体散射的第一激光束的第一散射光、由第一散射体散射的第二激光束的第二散射光、由第二散射体散射的第一激光束的第三散射光以及由第二散射体散射的第二激光束的第四散射光进行检测；浓度计算装置，基于由所述光检测器取得的第一、第二、第三以及第四散射光的检测值，计算第一散射体和第二散射体之间的所述对象成分的浓度。