[实用新型]一种排列晶粒的模具无效

专利信息
申请号: 200920257816.7 申请日: 2009-11-03
公开(公告)号: CN201532941U 公开(公告)日: 2010-07-21
发明(设计)人: 陈建民;陈建卫;陈磊;陈燕青 申请(专利权)人: 河南鸿昌电子有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 461000 河南省长*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型涉及半导体加工领域,具体地说是涉及一种排列晶粒的模具。排列晶粒的模具,其特征是:由框体和模具片组组成,多个模具片组成模具片组,所述的模具片组又由纵模具片组和横模具片组组成,纵模具片组和横模具片组具有相互啮合的相对缺口,其啮合以后之间形成多个孔;框体具有辖住模具片组的结构,纵模具片组和横模具片组啮合后,辖在框体内。为了安装更牢固,框体还具有辖住模具片组出头部分的辖槽,出头部分辖在辖槽内。具有稳定效果好的特点、模片不易脱落、成本低的优点。
搜索关键词: 一种 排列 晶粒 模具
【主权项】:
排列晶粒的模具,其特征是:由框体和模具片组组成,多个模具片组成模具片组,所述的模具片组又由纵模具片组和横模具片组组成,纵模具片组和横模具片组具有相互啮合的相对缺口,其啮合以后之间形成多个孔;框体具有辖住模具片组的结构,纵模具片组和横模具片组啮合后,辖在框体内。
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