[实用新型]超高真空旋转导入器有效
申请号: | 200920011047.2 | 申请日: | 2009-02-27 |
公开(公告)号: | CN201384944Y | 公开(公告)日: | 2010-01-20 |
发明(设计)人: | 郭方准 | 申请(专利权)人: | 大连齐维科技发展有限公司 |
主分类号: | B01J3/02 | 分类号: | B01J3/02 |
代理公司: | 大连科技专利代理有限责任公司 | 代理人: | 于忠晶 |
地址: | 116023辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及真空设备。超高真空旋转导入器,外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒,驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成,波纹管一端焊接在可动法兰上,另一端焊接在真空设备连接法兰上,真空设备连接法兰固定装有外管一端,且中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴,外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴,导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心,可动法兰两端均带有套体,两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴,驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心。本实用新型超高真空旋转导入器是实现超高真空环境中样品精确旋转驱动的重要手段。 | ||
搜索关键词: | 超高 真空 旋转 导入 | ||
【主权项】:
1、超高真空旋转导入器,其特征是:超高真空旋转导入器,外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒,驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成,波纹管一端焊接在可动法兰上,另一端焊接在真空设备连接法兰上,真空设备连接法兰固定装有外管一端,且中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴,外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴,导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心,可动法兰两端均带有套体,两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴,驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连齐维科技发展有限公司,未经大连齐维科技发展有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200920011047.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。