[发明专利]电感耦合等离子体光源无效
| 申请号： | 200910232140.0 | 申请日： | 2009-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN101707843A | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 张树龙;夏义峰;张鹏飞;张江河;王宏伟 | 申请（专利权）人： | 江苏天瑞仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B41/24 | 分类号： | H05B41/24;H05B41/36 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电感耦合等离子体光源，其包括：一高频信号源，用于产生高频信号；一功率推动单元，用于对输出的高频信号进行初步放大；一功率放大单元，用于将功率推动单元输出的高频信号进行二次放大；一输出匹配单元，将功率放大单元输出的信号输出给工作线圈，使工作线圈产生等离子体；一鉴相反馈单元，用于检测输出匹配单元的输出功率；一自动增益衰减单元，用于将鉴相反馈单元输出的反馈信号进行调节并反馈到所述功率推动单元；一主控板，用于控制所述自动增益衰减单元对反馈信号的调节幅度。该电感耦合等离子体光源相比于传统的电子管光源具有体积小、效率高、稳定性好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 光源 | ||
【主权项】：
一种电感耦合等离子体光源，其特征在于，其包括：一高频信号源，用于产生高频信号；一功率推动单元，用于对输出的高频信号进行初步放大；一功率放大单元，用于将功率推动单元输出的高频信号进行二次放大；一输出匹配单元，将功率放大单元输出的信号输出给工作线圈，使工作线圈产生等离子体；一鉴相反馈单元，用于检测输出匹配单元的输出功率；一自动增益衰减单元，用于将鉴相反馈单元输出的反馈信号进行调节并反馈到所述功率推动单元；一主控板，用于控制所述自动增益衰减单元对反馈信号的调节幅度。
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