[发明专利]电感耦合等离子体电源输出匹配电路无效
| 申请号： | 200910232136.4 | 申请日： | 2009-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN101718700A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 应刚;张树龙;沈鹏飞 | 申请（专利权）人： | 江苏天瑞仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电感耦合等离子体电源输出匹配电路，其包括一变压器，所述变压器的初级线圈与输入信号连接，所述变压器的次级线圈与第一可调节电容、第二可调节电容连接，第一可调节电容的另一端与工作线圈连接，第二可调节电容的另一端接地，所述第一可调节电容由第一电机调节，第二可调节电容由第二电机调节，所述第一电机、第二电机与一可检测工作线圈传输效率的信号反馈单元连接。该电路可根据工作线圈的工作情况自动调节输出匹配，使输出功率能以最大的效率传输至输出负载工作线圈上。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 电源 输出 匹配 电路 | ||
【主权项】：
一种电感耦合等离子体电源输出匹配电路，其包括一变压器(T10)，所述变压器(T10)的初级线圈与输入信号连接，其特征在于：所述变压器的次级线圈与第一可调节电容(C28)、第二可调节电容(C29)连接，第一可调节电容(C28)的另一端与工作线圈(T11)连接，第二可调节电容(C29)的另一端接地，所述第一可调节电容(C28)由第一电机(M2)调节，第二可调节电容(C29)由第二电机(M1)调节，所述第一电机(M2)、第二电机(M1)与一可检测工作线圈(T11)传输效率的信号反馈单元连接。
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