[发明专利]图案化的方法以及用于图案化的堆叠结构有效
| 申请号： | 200910139945.0 | 申请日： | 2009-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN101957560A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 赖识翔;苏国辉;王敏吉;梁硕玮;姜信铨 | 申请（专利权）人： | 台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会;中华映管股份有限公司;友达光电股份有限公司;瀚宇彩晶股份有限公司;奇美电子股份有限公司;财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/336;H01L31/18;H01L21/82 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种图案化的方法以及用于图案化的堆叠结构。图案化的方法包括在基板上提供待图案化的薄膜，接着，在薄膜上形成覆盖层。覆盖层的材料与薄膜的材料相异。之后，以高能光束熔损覆盖层与薄膜，以形成图案化的覆盖层与图案化的薄膜。其后，选择性移除图案化的覆盖层。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 方法 以及 用于 堆叠 结构 | ||
【主权项】：
一种图案化的方法，包括：在基板上提供第一薄膜，前述第一薄膜待图案化；在前述第一薄膜上形成一覆盖层，其中前述覆盖层的材料与前述第一薄膜的材料相异；前述以光束通过光掩模熔损前述覆盖层与前述第一薄膜，以形成图案化的覆盖层与图案化的第一薄膜；以及选择性移除前述图案化的覆盖层。
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