[发明专利]提高精密加工设备运动平台绝对位置定位精度的装置和方法有效
| 申请号： | 200910049993.0 | 申请日： | 2009-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN101551226A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 陈磊;韦雪芹;连国栋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 提高精密加工设备运动平台绝对位置定位精度的装置和方法，所述装置包括运动平台和基准板，所述运动平台靠近所述基准板一侧的表面上固定有同一方向的第一零位磁铁组和第二零位磁铁组，所述第一零位磁铁组和第二零位磁铁组中相邻两零位磁铁磁极反向设置，所述基准板靠近所述运动平台一侧的表面上对应于所述第一零位磁铁组和第二零位磁铁组位置处分别设有第一零位传感器和第二零位传感器。与传统方法相比，本发明提出的方法，除了能够在零点位置获得理想的线性与极佳的分辨率外，还能够极大地补偿由于元器件老化、温度波动以及外界杂散因素影响而产生的“零点漂移”问题。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 精密 加工 设备 运动 平台 绝对 位置 定位 精度 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种提高精密加工设备运动平台绝对位置定位精度的装置，包括运动平台和基准板，其特征在于：所述运动平台上固定有同一方向的第一零位磁铁组和第二零位磁铁组，所述第一零位磁铁组和第二零位磁铁组中相邻两零位磁铁磁极反向设置，所述基准板上对应于所述第一零位磁铁组和第二零位磁铁组位置处分别设有第一零位传感器和第二零位传感器。
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