[发明专利]光电生产线无效
| 申请号： | 200880105071.0 | 申请日： | 2008-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN101796481A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·Z·巴克拉克;蔡容基;崔寿永;尼古拉斯·G·J·德弗里;雅科夫·埃尔格;埃里克·A·恩格尔哈特;米歇尔·R·弗赖;查尔斯·盖伊;帕里斯·霍金斯;乔伊·胡;詹姆斯·克雷格·亨特;潘查拉·N·坎卡纳拉;李利伟;温·胡·罗;丹尼·卡姆·托恩·鲁;方·梅;斯蒂芬·P·墨菲;斯鲁杰尔·帕特尔;马修·J·B·桑德斯;阿萨夫·施莱辛格;盛殊然;苏杰发;杰弗里·S·沙利文;戴维·坦纳;特雷莎·特罗布里奇;布赖斯·沃克;约翰·M·怀特;泰·K·王 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F7/10 | 分类号： | G06F7/10;H01L31/06;H01L21/4763 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;钟强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及利用适以在形成太阳能电池的处理中执行一或多个步骤的处理模块来形成光电装置或太阳能电池的系统。自动化太阳能电池工厂一般配置有用来形成太阳能电池的自动化处理模块和自动化设备。此自动化太阳能电池工厂因此大致包含一基板接收模块，用来接收基板；一或多个吸收层沉积群集工具，具有至少一个处理腔室可沉积含硅层在基板表面上；一或多个背接触沉积腔室；一或多个材料移除腔室；太阳能电池封装装置；热压釜模块；自动化接线箱附接模块；和一或多个质量确保模块，适以测试及合格化已完全形成的太阳能电池装置。 | ||
| 搜索关键词： | 光电 生产线 | ||
【主权项】：
一种形成太阳能电池的系统，包括：一或多个群集工具，其具有至少一个处理腔室，适以在第一基板的一表面上沉积含硅层；一第一划线装置，适以从该第一基板的该表面上移除一部分的该含硅层；一测试模块，适以对在该系统内执行的一或多个处理的输出进行特性分析，其中该测试模块包括：一基板支撑件；一测量装置，与二或更多个接脚电连通，该些接脚定向成接触该基板支撑件上该第一基板的该表面上的至少两点；一视觉系统，其经设置以观看该第一基板的该表面；以及一致动器，适以相对于该二或更多个接脚而将设置在该基板支撑件上的该第一基板进行定位。
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