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[发明专利]太阳能生产线的计量与检测套组-CN201080006560.8有效
发明人：米歇尔·R·弗赖;王大鹏;苏杰发;维基·斯韦丹科;卡什夫·马克苏德 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2010-02-02 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： H01L31/042 文献下载
摘要：本发明的实施例通常涉及使用处理模组用以形成太阳能电池器件的系统，其中该处理模组经调整以在形成太阳能电池器件时执行一个或多个工艺。在一实施例中，该系统经调整以形成薄膜太阳能电池器件，这是通过接收大型未处理的基板和执行多重沉积、材料移除、清洗、切片、粘接、和各种检测和测试程式，以形成多个完整的、具功能性的、和经过测试的太阳能电池器件，然后可将该太阳能电池器件运到终端使用者，用以安装于所期望位置，来产生电力。在一实施例中，该系统在各种层的形成中提供对太阳能电池器件的检测，同时收集和使用计量资料来诊断、调整或改善在生产太阳能电池器件期间的生产线的生产流程。
太阳能生产线计量检测

[发明专利]用于薄膜太阳能模块的多程激光边缘去除工艺-CN201110205023.2无效
发明人：王立平;苏杰发;萨林·森德·贾因纳加·库伯萨斯沃米;欧雷·勒克纳 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2011-07-14 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供用于薄膜太阳能模块的多程激光边缘去除工艺。本发明的实施方式提供用于制造光伏器件的边缘薄膜层叠去除的方法。在一个实施方式中，所述方法包括：提供基板，所述基板具有沉积于所述基板上的薄膜层叠，所述薄膜层叠包含透明导电层、含硅层和导电层；使用以第一功率级输送的电磁辐射，去除形成于沿所述基板侧面的边缘区上的所述导电层和所述含硅层；以及使用以高于所述第一能量级的第二能量级输送的电磁辐射，去除形成于沿所述基板所述侧面的所述边缘区上的所述透明导电层。
用于薄膜太阳能模块激光边缘去除工艺

[发明专利]干型高电位测试器以及太阳模拟工具-CN200910163371.0无效
发明人：彼特·王;哈里·史密斯·怀特赛尔三世;丹尼·卡姆·陆;苏杰发;迈克尔·马里奥特;马学洪;李晓宁;凌杰 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2009-07-06 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： G01R31/36 文献下载
摘要：一种用于测试光伏基板的方法和装置将基板放置在具有连接点的支架台架上，比如真空吸盘。该台架被致动到测试位置处。耦合到台架的探针套具连接到基板上的接线盒。电源将电压施加到接线盒，受到致动的框架接触基板的边缘区域以检测任何击穿电流。受到致动的框架包括用于将与基板边缘的接触最大化的衬垫。衬垫可以是导电的，或者可以具有导电表面。与框架的导电衬垫耦合的电流传感器检测任何击穿电流。太阳光谱模拟器提供用于测试基板光伏特性的太阳光谱辐射。
干型高电位测试以及太阳模拟工具

[发明专利]光电生产线-CN200880105071.0无效
发明人：罗伯特·Z·巴克拉克;蔡容基;崔寿永;尼古拉斯·G·J·德弗里;雅科夫·埃尔格;埃里克·A·恩格尔哈特;米歇尔·R·弗赖;查尔斯·盖伊;帕里斯·霍金斯;乔伊·胡;詹姆斯·克雷格·亨特;潘查拉·N·坎卡纳拉;李利伟;温·胡·罗;丹尼·卡姆·托恩·鲁;方·梅;斯蒂芬·P·墨菲;斯鲁杰尔·帕特尔;马修·J·B·桑德斯;阿萨夫·施莱辛格;盛殊然;苏杰发;杰弗里·S·沙利文;戴维·坦纳;特雷莎·特罗布里奇;布赖斯·沃克;约翰·M·怀特;泰·K·王 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-08-29 - 公布日： 2010-08-04 - 主分类号： G06F7/10 文献下载
摘要：本发明涉及利用适以在形成太阳能电池的处理中执行一或多个步骤的处理模块来形成光电装置或太阳能电池的系统。自动化太阳能电池工厂一般配置有用来形成太阳能电池的自动化处理模块和自动化设备。此自动化太阳能电池工厂因此大致包含一基板接收模块，用来接收基板；一或多个吸收层沉积群集工具，具有至少一个处理腔室可沉积含硅层在基板表面上；一或多个背接触沉积腔室；一或多个材料移除腔室；太阳能电池封装装置；热压釜模块；自动化接线箱附接模块；和一或多个质量确保模块，适以测试及合格化已完全形成的太阳能电池装置。
光电生产线

[发明专利]形成多种尺寸光电器件的生产线模块-CN200880000176.X无效
发明人：罗伯特·Z·巴克拉克;蔡用起;崔寿永;尼古拉斯·G·J·德弗里;雅科夫·埃尔格;埃里克·A·恩格尔哈特;米歇尔·R弗赖;查尔斯·盖伊;帕里斯·霍金斯;乔伊·胡;詹姆斯·克雷格·亨特;潘查拉·N·坎卡纳拉;李利伟;温·胡·罗;丹尼·卡姆·托恩·鲁;方·梅;斯蒂芬·P·墨菲;斯鲁杰尔·帕特尔;马修·J·B·桑德斯;阿萨夫·施莱辛格;舒然·沈;苏杰发;杰弗里·S·沙利文;戴维·坦纳;特雷莎·特罗布里奇;布赖斯·沃克;约翰·M·怀特;泰·K·王 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-08-29 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： B26D3/06 文献下载
摘要：本发明一般涉及到划分定位在自动化太阳能器件制造系统内的划分模块。该太阳能电池器件制造系统适合于接收单个大基板和由该单个大基板形成多个硅薄膜太阳能电池器件。
形成多种尺寸光电器件生产线模块

[发明专利]使用诊断装置的光电制造工艺监测及控制-CN200810171158.X无效
发明人：王大鹏;米歇尔·兰吉特·弗赖;苏杰发;维基·斯韦丹科;格雷格·S·海格希 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-10-22 - 公布日： 2009-07-29 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：公开了在用于制造光电(PV)电池的相同基板上诊断装置的形成。将也称为工艺诊断工具(PDV)的这种装置设置成在线监测PV电池部件的电特征，并且使用用于PV电池制造的相同处理步骤在基板上形成这种装置。可以将通过PDV采集的数据用于调整或优化后续PV电池制造，即用作制造工艺的反馈。替代地，可以将通过PDV采集的数据在制造工艺中前馈，以便可以修改在PV电池基板上执行的后续处理步骤，以补偿通过PDV在PV电池基板上检测到的问题。
使用诊断装置光电制造工艺监测控制

[发明专利]用于薄膜光电装置的工艺测试器和测试方法-CN200810173403.0无效
发明人：米歇尔·兰吉特·弗赖;苏杰发 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-10-22 - 公布日： 2009-05-06 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明一般涉及工艺测试器和采用标准光电电池工艺制造工艺测试器的方法。本发明尤其涉及通过激光刻划确定的工艺测试器配置、用于产生工艺测试器的方法、将工艺测试器用于光电生产线诊断的方法、在光电模块生产中工艺测试器的放置、以及用于产生设计规则测试器的方法。
用于薄膜光电装置工艺测试方法

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