[发明专利]光致抗蚀用化合物、光致抗蚀液及使用其的蚀刻方法无效
| 申请号： | 200880007061.3 | 申请日： | 2008-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN101675117A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 渡边哲也;宇佐美由久 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | C09B23/00 | 分类号： | C09B23/00;C09B29/48;C09B45/14;C09B45/18;C09B45/20;C09B45/48;C09B47/12;C09B47/18;C09B47/20;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱 丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及从具有氧杂菁色素骨架的化合物，具有花青色素、苯乙烯基色素、部花青色素骨架的化合物，具有酞菁色素骨架的化合物，偶氮化合物，以及偶氮化合物与金属离子的络合物选择的光致抗蚀用化合物。另外，本发明提供了使用含有至少一种上述光致抗蚀用化合物的光致抗蚀液，以及使用上述光致抗蚀液的被加工表面的蚀刻方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀用 化合物 光致抗蚀液 使用 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀用化合物，其选自具有氧杂菁色素骨架的化合物，具有花青色素、苯乙烯基色素、部花青色素骨架的化合物，具有酞菁色素骨架的化合物，偶氮化合物，以及偶氮化合物与金属离子的络合物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶片株式会社，未经富士胶片株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880007061.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 显色组合物、平版印刷版原版、平版印刷版的制版方法及显色剂-201580042716.0
- 水野明夫;野越启介;津村享佑;村上平;会津康平 - 富士胶片株式会社
- 2015-08-21 - 2019-09-27 - C09B23/00
- 本发明的目的在于提供一种以高浓度显色，并且随时间的经过而产生的退色较少的显色组合物，提供一种基于显色的检版性优异且显色后即使经过时间也可维持高显色的平版印刷版原版、使用了上述平版印刷版原版的平版印刷版的制版方法，及提供一种可作为显色剂而较佳地使用的新型化合物。本发明的显色组合物的特征在于，含有由式1表示的化合物。本发明的化合物的特征在于，由式1表示。式1中，R1表示因热或红外线曝光而R1‑O键断裂的基团。
- 近红外线吸收色素、光学滤波器和摄像装置-201780009582.1
- 三宅德显;冈田悟史;入泽润;小西哲平;松浦启吾 - AGC株式会社
- 2017-02-02 - 2018-09-28 - C09B23/00
- 本发明提供提高了可见光的透射性、尤其是波长430～550nm的光的透射率且具有近红外线遮蔽特性的近红外线吸收色素。近红外线吸收色素溶解于二氯甲烷而测定的吸收特性满足下述必要条件。在波长400～800nm的吸收光谱中，在670nm以上的波长区域具有最大吸收波长λmax。在对波长430～550nm的光的最大吸光系数εA与对波长670nm以上的光的最大吸光系数εB之间，下述关系式成立。εB/εA≥65·在光谱透射率曲线中，将上述最大吸收波长λmax处的透射率设为1％时，波长430～460nm的光的平均透射率为94.0％以上。
- 化合物及含有该化合物的组合物-201480040982.5
- 冈田光裕;松本健;金原有希子;松井依纯 - 株式会社艾迪科
- 2014-11-27 - 2018-06-08 - C09B23/00
- 本发明提供一种耐热性及耐光性优异的适合作为着色感光性组合物的染料的新型化合物及使用了该化合物的着色感光性组合物，具体而言，本发明提供下述通式(1)所示的化合物以及着色感光性组合物，所述着色感光性组合物含有：含有该化合物的染料(A)、具有酸值的具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)、光自由基聚合引发剂(C)及具有烯键式不饱和键的单体(D)。通式(1)的具体内容如本说明书中所记载的。
- 担载体和光电转换元件-201380054149.1
- 长田广幸;秋本贤作;青山洋平;野田和幸;矢野亨;谷内亮;搅上健二 - 株式会社艾迪科
- 2013-12-18 - 2018-04-03 - C09B23/00
- 一种担载体，其担载有下述(A)的至少1种和下述(B)的至少1种。(A)的增感色素是具有π共轭基和至少1个锚固基的增感色素，π共轭基和所有的锚固基被具有至少1个亚烷基的原子数为5～20的间隔基连接。(B)的增感色素是具有π共轭基和至少1个锚固基的增感色素，π共轭基和至少1个锚固基被直接键合或具有至少1个亚烷基的原子数为1～4的间隔基连接。在(A)和(B)中，间隔基是在规定的条件(参照说明书)下，由碳原子或碳原子和氧原子等构成，并且也可以具有支链或环结构。
- 份菁化合物-201680003514.X
- 久保田裕介;松井依纯;冈田光裕 - 株式会社艾迪科
- 2016-03-24 - 2017-08-01 - C09B23/00
- 本发明提供一种耐光性及耐热性优异的份菁化合物，具体而言，提供通式(I)表示的份菁化合物。该份菁化合物中，通式(II)表示的化合物、特别是通式(III)或(IV)表示的化合物由于合成容易且耐热性高，因此优选，通式(V)、(VI)、(VII)或(VIII)表示的化合物更优选。通式(I)～(VIII)的具体内容如本说明书所记载。
- 用于染料敏化太阳能电池的具有大有机抗衡阴离子的次甲基染料-201480040666.8
- 山户齐;中道真司;高桥隆一;山本宏;R·森德;H·沃内博格;I·布鲁德;V·格陶蒂斯;R·卡什帕拉斯;T·马利瑙斯卡斯 - 巴斯夫欧洲公司
- 2014-07-22 - 2016-03-02 - C09B23/00
- 本发明涉及一种电极层，其包含用具有能吸收波长为400-1000nm的电磁辐射的抗衡阴离子的次甲基染料敏化且由氧化物半导体细颗粒制成的多孔膜。此外，本发明涉及一种包含所述电极层的光电转化器件、一种包含所述光电转化器件的染料敏化太阳能电池、一种包含所述光电转化器件的有机电子器件，和具有能吸收波长为400-1000nm的电磁辐射的抗衡阴离子的新型次甲基染料。
- 包含芳基方酸化合物的有机光敏器件及其制造方法-201280008386.X
- 斯蒂芬·R·弗里斯特;马克·E·汤普森;韦国丹;王思轶;林肯·霍尔;维亚切斯拉夫·V·迪夫;肖新 - 密歇根大学董事会;南加利福尼亚大学
- 2012-02-07 - 2014-05-14 - C09B23/00
- 本发明公开了式I的方酸化合物：其中每个Y1和Y2独立地选自任选被取代的氨基和任选被取代的芳基。本发明还描述了包含由一种或多种所述方酸化合物形成的供体-受体异质结的有机光电器件。本发明还公开了制造所公开的器件的方法，所述方法可以包括一个或多个用于沉积所述方酸化合物的升华步骤。
- 金属错合物色素组成物、光电转换元件及光电化学电池以及金属错合物色素的制造方法-201280011121.5
- 谷征夫;薄达也;小林克;木村桂三 - 富士胶片株式会社
- 2012-02-29 - 2013-11-20 - C09B23/00
- 本发明提供对溶剂的溶解性高的金属错合物色素组成物，以及光电转换效率高的光电转换元件及光电化学电池。此金属错合物色素组成物按HPLC(高效液相层析法)的254nm检测的面积计，以0.5～5％的含有率包含通式(1)所示的金属错合物色素以及特定结构的金属错合物色素。M1(LL1)m1(LL2)m2(Z1)2·(CI1)m3 通式(1)[通式(1)中，M1表示金属原子，LL1为2牙配位基，LL2为2牙配位基；Z1表示配位基，为选自异硫氰基、异氰酸基及异硒氰基的至少1种；CI1表示需要对离子来中和电荷时的对离子；m1及m2均为1，m3为0以上的整数]。
- 新型化合物、染料以及着色感光性组合物-201180057552.0
- 前田洋介;清水正晶;滋野浩一 - 株式会社艾迪科
- 2011-12-27 - 2013-07-31 - C09B23/00
- 本发明提供一种溶解性优良、并且耐热性优良的染料以及适合于该染料的新型化合物，特别是提供在420～470nm的区域具有最大吸收波长的黄色染料。另外，本发明提供使用了上述染料的着色（碱显影性）感光性组合物以及滤光器，特别是提供不会降低亮度的适合于液晶显示面板等图像显示装置的滤色器。具体地，提供一种由下述通式（1）表示的新型化合物、使用了该化合物的染料、着色（碱显影性）感光性组合物以及滤色器。上述通式（1）的内容如说明书中所记载。
- 染料化合物、二吡咯亚甲基金属错合物的制造方法、染料多聚体的制造方法、经取代的吡咯化合物、彩色固化组成物、彩色滤光片、彩色滤光片的制造方法、固态影像传感器及液晶显示元件-201180035943.2
- 荒山恭平;出井宏明;汉那慎一;牛岛健太;后藤研由 - 富士胶片株式会社
- 2011-06-30 - 2013-04-03 - C09B23/00
- 本发明提供具有由下式(5)表示的部分结构的染料化合物：
(5)其中在式(5)中，染料表示染料结构；G1表示NR或氧原子；G2表示空间参数-Es′值等于或大于1.5的单价取代基；p表示1至8的整数；当p等于或大于2时，两个或多于两个由p表示的结构可彼此相同或不同；且R表示氢原子或单价取代基。
- 染料及着色感光性组合物-201180020680.8
- 前田洋介;清水正晶;松平桂典 - 株式会社艾迪科
- 2011-09-08 - 2013-01-02 - C09B23/00
- 本发明提供一种溶解性优异、耐热性优异的染料及适合于该染料的新型化合物，特别是提供在400～450nm的区域具有最大吸收波长的黄色的染料、使用了上述染料的着色(碱显影性)感光性组合物、以及使用了上述着色(碱显影性)感光性组合物的光学滤光器、特别是不会降低亮度且适合于液晶显示面板等图像显示装置的滤色器，具体而言，是将下述通式(1)表示的化合物用作染料的技术方案。关于上述通式(1)的内容，如说明书中所述。
- 方酸菁色素及使用它们的色素的敏化太阳能电池、光电转换元件-201180011660.4
- 早濑修二;S·S·潘戴伊;山口能弘 - 新日铁化学株式会社;国立大学法人九州工业大学
- 2011-02-28 - 2012-12-05 - C09B23/00
- 本发明提供在近红外区域中的光电转换效率可提高的新型的方酸菁色素、提供使用了其的光电转换效率提高了的色素敏化太阳能电池及光电转换元件。该方酸菁色素由下述式（1）表示，
式中,R1～R7及R'1～R'7独立地表示氢原子、烷基、磺烷基、环烷基、烷氧基、芳基、或卤素原子等，X及Y独立地表示氢或-COOR(R为氢或C1～C12的烷基)，X及Y的两者或任一者为-COOR，R8及R'8的一者为C3～C30的烷基、C3～C30的卤素取代烷基、C3～C30的羟羰基烷基或RCOO-或RSO3-（R为C1～C30的烷基）。
- 着色可固化组合物，抗蚀剂液体，喷墨打印用墨，滤色器，滤色器的制备方法，固态图像传感器，液晶显示器，有机EL显示器，图像显示装置和着色剂化合物-201080046028.9
- 伊藤纯一;水川裕树;矢吹嘉治;汉那慎一;稻部阳树;金子祐士;后藤研由 - 富士胶片株式会社
- 2010-10-07 - 2012-07-11 - C09B23/00
- 本发明提供一种着色可固化组合物，所述着色可固化组合物包含二吡咯甲川化合物，所述二吡咯甲川化合物具有其中将可聚合基团和羧基引入到同一分子中的结构，并且提供一种抗蚀剂液体，一种喷墨打印用墨，一种滤色器，一种制备滤色器的方法，一种固态图像传感器，一种液晶显示器，一种有机EL显示器，一种图像显示装置和一种着色剂化合物。
- 色调修正剂、方酸内鎓盐化合物及滤光器-201080044656.3
- 前田洋介;石田达哉 - 株式会社艾迪科
- 2010-12-03 - 2012-07-11 - C09B23/00
- 本发明提供具有适宜用于滤光器的耐热性的色调修正剂、特别适宜作为该色调修正剂的新型方酸内鎓盐化合物及含有该色调修正剂而形成的滤光器。具体而言，提供由下述通式(1)表示的方酸内鎓盐化合物构成的色调修正剂、适宜作为该色调修正剂的下述通式(4)表示的新型方酸内鎓盐化合物、及含有该色调修正剂的滤光器。(关于式(1)中的A、A′，如说明书所述的那样。)(式(4)中，R18及R19表示硝基等，Y5及Y6表示碳原子数为1～18的烷基等)。
- 二阶非线性光学化合物及含有它的非线性光学元件-201080035813.4
- 大友明;青木勋;三木秀树;田泽英久;横山士吉 - 独立行政法人情报通信研究机构;住友电气工业株式会社;国立大学法人九州大学
- 2010-08-24 - 2012-05-30 - C09B23/00
- 本发明提供与以往的发色团相比，具有非常优异的非线性光学活性的发色团以及含有该发色团的非线性光学元件。在含有供体结构部D、π共轭桥连结构部B和受体结构部A的发色团中，该供体结构部D含有被取代氧基取代的芳基的发色团，以及含有该发色团的非线性光学元件。
- 有机盐化合物、使用了该有机盐化合物的光学记录材料及光学记录介质-201080010598.2
- 石田达哉;柳泽智史 - 株式会社艾迪科
- 2010-04-22 - 2012-02-01 - C09B23/00
- 本发明的有机盐化合物由通式(I)表示的单次甲基花青阳离子和通式(IV)表示的甲亚胺络合物阴离子构成，是感度及耐光性优异、特别适合于通过激光来进行记录、再生的光学记录材料中使用的光学元件的化合物。通式(I)中，X为氧原子、硫原子或硒原子，R1及R2为C1～20烷基、C7～30芳烷基等，R3～R6为氢原子、C1～20烷基等，R4与R5可以连接而形成6元环，Y1及Y2为C1～20烷基等，R7～R10表示氢原子、C1～20烷基等，相邻的R7～R10可以连接而形成5～6元环。通式(IV)中，M′表示Fe、Co、Ni、Cr、Mn等，R11～R26表示氢原子、硝基、-NRR′(R、R′为C1～4烷基)等。
- 使用了花青化合物的近红外线吸收材料及花青化合物-200980146364.8
- 前田洋介;大槻龙也;滋野浩一 - 株式会社艾迪科
- 2009-11-18 - 2011-10-19 - C09B23/00
- 本发明的近红外线吸收材料含有通式(I)表示的花青化合物，因此在800～1000nm的波长区域具有尖锐的光吸收，且耐光性优异。式(I)中，R1～R4、Y1及Y2表示氢原子或式(II)或(II′)的基团等，Anq-表示q价的阴离子，至少R1为式(II)或(II′)的基团，或者Anq-为式(III)的离子，R11～R13表示氢原子、羟基等，Z1及Z2表示C1～10烷基等。式(II′)中，G′和T′之间的键为双键或共轭双键，G′表示C原子，T′表示C原子或N原子，包含G′及T′的环表示6元环等，w′表示0～4，R01′表示氢原子、羟基等。式(III)中，R5及R6表示C1～8的卤代烷基。
- 吲哚鎓化合物以及使用了该化合物的光学记录材料-200880102630.2
- 矢野亨;青山洋平 - 株式会社艾迪科
- 2008-09-26 - 2010-07-14 - C09B23/00
- 本发明提供下述通式(I)表示的新型吲哚鎓化合物以及使用了该吲哚鎓化合物的光学记录材料。通式(I)中，环A表示苯环等，环B表示5元或6元的杂环，R1表示通式(II)表示的基团等，R2表示碳原子数为1～30的有机基团等，Y1表示碳原子数为1～10的烷基等，Z1和Z2表示可以被卤素基取代或者可以被-O-等中断的碳原子数为1～8的烷基等，a表示0～6的整数，b表示0～5的整数，Anq-表示q价的阴离子，q表示1或2，p表示保持电荷为中性的系数。
- 吲哚鎓化合物以及使用了该化合物的光学记录材料-200880102660.3
- 矢野亨;青山洋平 - 株式会社艾迪科
- 2008-09-26 - 2010-07-14 - C09B23/00
- 本发明提供下述通式(I)表示的新型吲哚鎓化合物以及使用了该吲哚鎓化合物的光学记录材料。通式(I)中，环A表示苯环等，R1表示通式(II)表示的基团等，R2表示碳原子数为1～30的有机基团等，Y1表示碳原子数为1～10的烷基等，Z1表示可以被卤素基取代、或者可以被-O-等中断的碳原子数为1～8的烷基等，Z2表示可以被卤素基取代、或者可以被-O-等中断的碳原子数为1～8的烷基等，a表示0～6的整数，b表示0～5的整数，Anq-表示q价的阴离子，q表示1或2，p表示保持电荷为中性的系数。
- 光致抗蚀用化合物、光致抗蚀液及使用其的蚀刻方法-200880007061.3
- 渡边哲也;宇佐美由久 - 富士胶片株式会社
- 2008-03-05 - 2010-03-17 - C09B23/00
- 本发明涉及从具有氧杂菁色素骨架的化合物，具有花青色素、苯乙烯基色素、部花青色素骨架的化合物，具有酞菁色素骨架的化合物，偶氮化合物，以及偶氮化合物与金属离子的络合物选择的光致抗蚀用化合物。另外，本发明提供了使用含有至少一种上述光致抗蚀用化合物的光致抗蚀液，以及使用上述光致抗蚀液的被加工表面的蚀刻方法。
- 花青化合物、使用了该化合物的滤光器以及光学记录材料-200880002677.1
- 矢野亨;冈田光裕;滋野浩一 - 株式会社艾迪科
- 2008-03-28 - 2009-11-25 - C09B23/00
- 本发明提供一种由下述通式(I)表示的花青化合物、使用了该花青化合物的滤光器以及光学记录材料。
- 新型化合物、使用了该化合物的滤光器及光学记录材料-200780016694.6
- 柳泽智史 - 株式会社艾迪科
- 2007-03-05 - 2009-05-20 - C09B23/00
- 本发明提供一种通式(I)表示的化合物，式中，环A及环B各自独立地表示可以具有取代基的苯环、萘环或杂环，R1及R2各自独立地表示可以具有取代基的碳原子数为1～8的烷基，R1和R2可以连接形成环，所述碳原子数为1～8的烷基中的亚甲基也可以被-O-或-CH＝CH-取代，Anq-表示q价的阴离子，q为1或2，p表示保持电荷为中性的系数。
- 次甲基类染料及其用途-200680054585.9
- 段王保文;土岐雅彦;矢野贤太郎;相泽恭 - 株式会社林原生物化学研究所
- 2006-11-07 - 2009-05-20 - C09B23/00
- 本发明的课题是，提供能够吸收紫外至红外区域的光、耐光性和在溶剂中的溶解性优良、而且兼有适于其所应用的用途的热特性的新型的有机化合物及其用途。通过提供具有由2个假吲哚环各自借助假吲哚环上3位的碳原子通过2价连接基键合而成的双假吲哚骨架的假吲哚化合物以及次甲基类染料、以及含有该次甲基类染料的光记录介质来解决上述课题。
- 染料增感型光电转换器件-200780012654.4
- 紫垣晃一郎;金子昌严;星尚志;井上照久 - 日本化药株式会社
- 2007-03-01 - 2009-04-29 - C09B23/00
- 本发明公开了光电转换器件，其中将由式(1)表示的次甲基染料负载到配置在基材上的氧化物半导体细粒的薄膜上。还公开了使用这样的光电转换器件制造的太阳能电池。(在式(1)中，n表示0-5的整数；m表示0-5的整数；R1到R4独立地表示氢原子、任选取代的芳族残基、任选取代的脂族烃残基等；X和Y独立地表示氢原子、任选取代的芳族残基、任选取代的脂族烃残基等；Z表示氧原子、硫原子等；A1、A2、A3、A4和A5独立地表示氢原子、任选取代的芳族残基、任选取代的脂族烃残基等；以及环a、b和c可以被取代。)
- 吲哚鎓化合物以及光学记录材料-200780011566.2
- 矢野亨;滋野浩一 - 株式会社艾迪科
- 2007-03-23 - 2009-04-22 - C09B23/00
- 下述通式(I)表示的吲哚鎓化合物，式（I）中，环A表示苯环或萘环，环B表示五元或六元的杂环或芳香环，Z表示可以被卤素基取代或者也可以被-O-、-CO-、-OCO-或-COO-中断的碳原子数为1～8的烷基、具有碳原子数为1～8的烃基的磺酰基、具有碳原子数为1～8的烃基的亚磺酰基、具有碳原子数为1～8的烷基的烷基氨基、具有碳原子数为1～8的烷基的二烷基氨基、氰基、硝基、羟基或卤素基。R1表示通式(II)或(II’)表示的基团，R2表示碳原子数为1～30的有机基团、通式(II)、通式(II’)或通式(III)表示的基团，Y表示通式(III)表示的基团，n表示0～4的整数，Anm-表示m价的阴离子，m表示1或2，p表示保持电荷为中性的系数。
- 花青化合物以及光学记录材料-200780011412.3
- 矢野亨;柳泽智史;青山洋平;滋野浩一 - 株式会社艾迪科
- 2007-03-23 - 2009-04-15 - C09B23/00
- 下述通式(I)表示的花青化合物。(式中，环A1表示苯环或萘环，环A3表示5元环或6元环。R1和R2各自独立地表示氢原子等。R7表示烷基等，R12表示下述通式(II)或(II’)表示的取代基，R20氢原子等。Anq-表示q价的阴离子，q是1或2，p表示保持电荷为中性的系数。)(在上述通式(II)中，L和T间的键是双键、共轭双键或三键，L表示碳原子，T表示碳原子、氧原子、硫原子或氮原子，x、y和z表示0或1，s表示0～4的数，R13表示氢原子等，R14、R15和R16各自独立地表示氢原子等。在上述通式(II’)中，L’和T’间的键为双键或共轭双键，L’表示碳原子，T’表示碳原子、氧原子或氮原子，s’表示0～4的数，含有L’和T’的环表示可以含有杂原子的5元环等。)。
- 有机化合物及使用了它的半导体薄膜电极、光电转换元件、光电化学太阳能电池-200780010025.8
- 甲村长利;原浩二郎 - 独立行政法人产业技术综合研究所
- 2007-03-27 - 2009-04-08 - C09B23/00
- 为了提高开路电压，显示高光电转换效率的有机化合物，以该有机化合物作为色素的半导体薄膜电极，提供使用了该半导体薄膜电极的光电转换元件及使用了该光电转换元件的色素敏化型太阳能电池，使用的是上述普通式(1)所示的有机化合物。(式中、A是咔唑(Carbazole)环，L1是噻吩(Thiophene)环、呋喃环(FURan)、吡咯(Pyrrol)环或者从对这些进行稠环所得的多元环中选择至少包含1种多元的环的电子传递性连接基，R是从烷基(Alkyl)、烷氧基(Alkoxy)及芳基(Aryl)中选择至少一种结合到电子传递性连接基中的置换基，X是从氰基(cyano)、香芹酮(Carvone)氧基、酯基(Ester)、酰胺基(Amide)、三氟甲基(trifluoromethyl)、全氟乙基(pentafluoroethyl)、砜(Sulfone)氧基及三氟甲磺酸氧基(Trifluoromethanesulfonic acid)中选择至少一种的电子吸收性基，M表示氢原子或氯形成阳离子。n表示1～12的整数。)
- 专利分类
