[实用新型]装载基板的运送车无效
| 申请号： | 200820125477.2 | 申请日： | 2008-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN201264621Y | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 陈侹叡 | 申请（专利权）人： | 欣兴电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/10 | 分类号： | B62B3/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种装载基板的运送车，适于将多个基板运送至一等离子清洁室，用以清洁这些基板的表面。等离子清洁室具有多个平行排列的电极板。装载基板的运送车包括一框架模块以及多个绝缘夹具。框架模块具有彼此相对的一上框架与一下框架。绝缘夹具配置于框架模块上，并分别固定于上框架与下框架，用以夹持这些基板，并分别电性绝缘于这些基板与这些电极板之间。 | ||
| 搜索关键词： | 装载 运送 | ||
【主权项】：
1. 一种装载基板的运送车，适于将多个基板运送至一等离子清洁室，用以清洁该些基板的表面，其特征在于，该等离子清洁室具有多个平行排列的电极板，该装载基板的运送车包括：一框架模块，具有彼此相对的一上框架与一下框架；以及多个绝缘夹具，配置于该框架模块上，并分别固定于该上框架与该下框架，用以夹持该些基板，并分别电性绝缘于该些基板与该些电极板之间。
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