[发明专利]半导体制造系统的日产出量预测系统

摘要

一种半导体制造领域的半导体制造系统的日产出量预测系统，本发明中，GUI模块负责与用户和其他模块进行交互；日产出量时间序列的相空间重构模块获得日产出量时间序列，对日产出量时间序列进行预处理后，将经过重构处理的日产出量时间序列输出给GUI模块和神经网络模块；神经网络模块进行日产出量时间序列的预测处理，并将预测处理结果输出到神经网络的参数训练处理模块和GUI模块；神经网络参数的训练处理模块对神经网络模块中的隐含层和输出层权值参数进行训练处理。本发明提高了半导体生产线的日产出量预测的准确性和精度。

主权项

1、一种半导体制造系统的日产出量预测系统，其特征在于，包括：GUI模块、日产出量时间序列的相空间重构模块、神经网络模块和神经网络参数的训练模块，其中：GUI模块接收用户输入的日产出量时间序列信息和神经网络训练的初始化参数设定值信息，分别将其输出给日产出量时间序列的相空间重构模块和神经网络的参数训练处理模块；日产出量时间序列的相空间重构模块获得日产出量时间序列，对日产出量时间序列进行预处理后，将经过重构处理的日产出量时间序列输出给GUI模块和神经网络模块，其中，预处理包括：时间延迟识别处理、嵌入维数识别处理和相空间重构处理，针对日产出时间序列；神经网络模块一方面从日产出量时间序列的相空间重构模块获得重构后的日产出量时间序列数据，另一方面从神经网络参数的训练模块获得优化的隐含层和输出层权值参数，进行日产出量时间序列的预测处理，并将预测处理结果输出到神经网络参数的训练处理模块和GUI模块；神经网络参数的训练处理模块一方面接收日产出量时间序列的相空间重构模块的日产出量时间序列的预处理结果信息，一方面从GUI模块接收神经网络训练的初始化参数设定值信息，对神经网络模块中的隐含层和输出层权值参数进行训练处理，将优化的隐含层和输出层权值参数传输给神经网络模块，并传输给GUI模块。