[发明专利]一种监测镀件表面金属镀层厚度的方法有效
| 申请号： | 200810097501.0 | 申请日： | 2008-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101576381A | 公开（公告）日： | 2009-11-11 |
| 发明（设计）人： | 李高贵;罗君 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02;G01N23/225;G01N23/223 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王 崇;王凤桐 |
| 地址： | 518118广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种监测镀件表面金属镀层厚度的方法，该方法包括用X射线能谱仪采集镀件表面的能谱图，根据该能谱图中是否出现所述表面金属镀层不含有的元素的特征峰和入射电子束的条件，监测镀件表面金属镀层厚度。本发明利用扫描电子显微镜-X射线能谱仪的方法可以对微小的区域和毫米级镀件进行表面镀层厚度的监测。由于能谱仪具有定性测试功能，也能对合金镀层进行监测，还能对镀层的元素进行定性分析，所以能分析盲样的镀层物质。使用该方法监测镀层厚度不需要破坏样品，而且监测结果准确可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监测 表面 金属 镀层 厚度 方法 | ||
【主权项】：
1、一种监测镀件表面金属镀层厚度的方法，其中，所述镀件包括基材和表面金属镀层，或者包括基材、表面金属镀层和次外层，其特征在于，与所述表面金属镀层相邻的基材或次外层含有表面金属镀层不含有的元素，该方法包括用入射电子束轰击镀件表面，并用X射线能谱仪采集镀件表面的能谱图，根据该能谱图中是否出现所述表面金属镀层不含有的元素的特征峰和入射电子束的条件，监测镀件表面金属镀层的厚度。
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