[发明专利]一种氮化镓基外延膜的制备方法

摘要

一种氮化镓基外延膜的制备方法，涉及一种氮化镓基外延膜。提供一种提高氮化镓激光剥离的速率，降低氮化镓激光剥离的阈值功率密度的氮化镓基外延膜的制备方法。在蓝宝石衬底上生长氮化镓基外延膜，将其P面粘在衬底支撑材料上，或用金属键合在衬底支撑材料上；设定电动平台的行进速度；将外延膜固定在载物玻璃上，放入真空室中抽真空；调整激光束经过光学系统后的聚焦光斑大小，激光束照射到外延膜背面，激光光斑扫描外延膜，使蓝宝石和氮化镓界面的氮化镓发生分解，氮化镓基外延膜与蓝宝石衬底分离；激光扫描蓝宝石衬底上生长氮化镓基外延膜结束后，关闭真空泵；将外延膜浸入盐酸，去除氮化镓和蓝宝石表面的镓，使蓝宝石衬底脱落。

主权项

1.一种氮化镓基外延膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)采用金属有机物气相外延法、分子束外延法或氢化物外延法在蓝宝石衬底上生长氮化镓基外延膜；2)将蓝宝石衬底上生长氮化镓基外延膜的P面用环氧树脂粘在衬底支撑材料上，或用金属键合在衬底支撑材料上；3)根据所要求的激光光斑大小和激光器脉冲频率设定电动平台的行进的速度；4)将蓝宝石衬底上生长氮化镓基外延膜固定在载物玻璃上，再连同电动平台一起放入真空室中抽真空；5)调节激光器的输出能量密度，调整激光束经过光学系统后的聚焦光斑大小，激光束进入真空室的石英透镜窗口，照射到蓝宝石衬底上生长氮化镓外延膜的背面上，电动平台沿二维平动或螺旋线移动，激光光斑扫描整个蓝宝石衬底上生长氮化镓外延膜，使蓝宝石和氮化镓界面的氮化镓发生分解，氮化镓基外延膜与蓝宝石衬底分离；6)激光扫描蓝宝石衬底上生长氮化镓基外延膜结束后，先关闭阀门，再关闭真空泵；7)将蓝宝石衬底上生长氮化镓基外延膜浸入盐酸中，去除氮化镓和蓝宝石表面的镓，使蓝宝石衬底脱落，即得转移到硅片或其他导热导电衬底上的氮化镓基外延膜。