[发明专利]一种碳化硅薄膜成型装置与碳化硅薄膜的制备方法

摘要

一种碳化硅薄膜成型装置与碳化硅薄膜的制备方法，涉及一种碳化硅(SiC)薄膜。提供一种碳化硅薄膜成型装置与碳化硅薄膜的制备方法。设有上密封盖、顶杆、喷膜料桶、喷膜板、垫片和下密封盖，上密封盖位于顶杆顶部，上密封盖固设于喷膜料桶上，顶杆设在喷膜料桶内，喷膜板固定在喷膜料桶底部，下密封盖设于喷膜板下方，垫片位于喷膜板与下密封盖之间，喷膜板设有喷膜盘、左夹板、右夹板和4个调节螺丝，左、右夹板并排设置，左、右夹板通过调节螺丝固设在喷膜盘上，喷膜板上还设有喷膜口。对聚碳硅烷进行脱泡处理，再将连续聚碳硅烷自由原膜进行交联处理，交联处理后进行烧结。

主权项

1.一种碳化硅薄膜成型装置，其特征在于设有上密封盖、顶杆、喷膜料桶、喷膜板、垫片和下密封盖，上密封盖位于顶杆之上，上密封盖固设于喷膜料桶上，顶杆设在喷膜料桶内，喷膜板固定在喷膜料桶底部，下密封盖设于喷膜板下方，垫片位于喷膜板与下密封盖之间，喷膜板设有喷膜盘、左夹板、右夹板和4个调节螺丝，左夹板与右夹板并排设置，左夹板与右夹板分别通过两个调节螺丝固设在喷膜盘上，喷膜板上还设有喷膜口。