[发明专利]基于MEMS传感器的插入式流量测量装置

摘要

本发明涉及一种流量测量装置，尤其是基于MEMS传感器的插入式流量测量装置。该装置由测量管、探头、固定装置、二次仪表、高压取压口、低压取压口及传感器部分的MEMS敏感芯体、封装结构、信号线构成。该装置将MEMS敏感芯体置于探头内部，取压口也位于测量管内，取消了传统插入式流量计需要引压到管外的结构。根据流量－差压数学关系模型和现场实际标定，实现对流量的动态和稳态测量。本发明解决了传统插入式流量计动态特性差，误差大，损耗高等问题。

主权项

1、基于MEMS传感器的插入式流量测量装置，其特征在于，该装置由测量管(1)、探头(2)、固定装置(3)、二次仪表(4)、高压取压口(8)、低压取压口(9)及传感器部分的MEMS敏感芯体(6)、封装结构(5)、信号线(7)构成；探头(2)通过固定装置(3)固定在测量管(1)内部；MEMS敏感芯体(6)被封装在封装结构(5)中，置于探头2内部；封装结构(5)固定在探头(2)内部，开口处分别与高压取压口(8)和低压取压口(9)相通；高压取压口(8)与低压取压口(9)均设在探头(2)上，位于测量管(1)内部；MEMS敏感芯体(6)的两个取压管分别通过高压取压口(8)与低压取压口(9)接触高压和低压流体；信号线(7)与MEMS敏感芯体(6)连接后引出测量管(1)至二次仪表(4)。