[发明专利]声波器件无效
| 申请号： | 200810003957.6 | 申请日： | 2008-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101232276A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 津田庆二;木村丈儿;相川俊一;井上和则;松田隆志 | 申请（专利权）人： | 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/10 | 分类号： | H03H9/10;H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种声波器件。所述声波器件包括：形成在基底上的声波元件；设置在所述基底上以在所述声波元件上方形成空腔的第一密封部分；以及设置在所述第一密封部分上的第二密封部分，所述第一密封部分具有一台阶，从而所述第一密封部分在第一侧上的宽度和第二侧上的另一宽度设置为：所述第一侧比所述第二侧距所述基底更近，并且所述第一侧上的所述宽度大于所述第二侧上的所述另一宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 器件 | ||
【主权项】：
1.一种声波器件，所述声波器件包括：形成在基底上的声波元件；设置在所述基底上以在所述声波元件上方形成空腔的第一密封部分；以及设置在所述第一密封部分上的第二密封部分，所述第一密封部分具有一台阶，从而所述第一密封部分在第一侧上的宽度和在第二侧上的另一宽度设置为：所述第一侧比所述第二侧距所述基底更近，并且所述第一侧上的所述宽度大于所述第二侧上的所述另一宽度。
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