[发明专利]具有微管的微器件无效
| 申请号： | 200780013033.8 | 申请日： | 2007-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101421843A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | R·胡夫曼 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/473 | 分类号： | H01L23/473 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蹇 炜 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及具有微管的微器件，其能够用作用于液体的超快冷却或加热的热交换器。使用波形花纹金属层面与热可降解聚合物(TDP)的组合使得能够制造仅由单层金属阻挡层材料分开的微管紧凑系统。由于两个分开的微管之间的小的距离(即阻挡层的厚度)，能够实现在微管中循环的两流体之间的高效热传递。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微管 器件 | ||
【主权项】：
1、用于制造微器件的方法，包括步骤：-设置基底(100)；-设置和构造第一一次性层(110)；-设置至少一个阻挡层(120、140)；-设置第二一次性层(130)；-通过去除所述第一一次性层(110)，构建第一微管(1)；以及-通过选择性地去除所述第二一次性层(130)，构建第二微管(2)。
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