[实用新型]一种多仓组合式量产真空镀膜系统有效
| 申请号： | 200720170078.3 | 申请日： | 2007-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN201224759Y | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 刘阳 | 申请（专利权）人： | 北京实力源科技开发有限责任公司;刘阳 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭晓玲 |
| 地址： | 100072北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种多仓组合式真空镀膜系统，总体采用组合式多真空仓结构，其中至少包括2个或2个以上的真空仓，每一真空仓至少可以进行镀膜或辅助处理，所述的各镀膜仓中至少有一个仓中的工件可沿环形轨道连续运行多圈镀厚膜；各辅助处理仓可以实现镀膜之外的各种辅助处理；在相邻真空仓之间有自动真空闸门控制流程；一种柔性输送带在真空条件下沿导轨运行，自动交换或输送工件，保证了实施大批量镀膜生产线的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合式 量产 真空镀膜 系统 | ||
【主权项】：
1、一种量产真空镀膜系统，其特征在于：所述真空镀膜系统为组合式的，至少包括两个或两个以上的真空仓，各真空仓至少配置有镀膜装置和辅助装置中的一种，其中至少有一个真空仓中具有环形轨道，工件能沿环形轨道运动多圈；相邻真空仓之间通过自动真空闸门连接；另有一种柔性输送带在真空条件下沿导轨运行，自动交换或输送工件。
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