[实用新型]一种多仓组合式量产真空镀膜系统

权利要求书

1、一种量产真空镀膜系统，其特征在于：所述真空镀膜系统为组合式的，至少包括两个或两个以上的真空仓，各真空仓至少配置有镀膜装置和辅助装置中的一种，其中至少有一个真空仓中具有环形轨道，工件能沿环形轨道运动多圈；相邻真空仓之间通过自动真空闸门连接；另有一种柔性输送带在真空条件下沿导轨运行，自动交换或输送工件。

2、根据权利要求1所述的量产真空镀膜系统，其特征在于：所述真空仓采用标准化的模块设计。

3、根据权利要求1-2中任一项所述的量产真空镀膜系统，其特征在于：在相邻单元的仓体之间，设置真空通道，自动真空闸门设置在真空通道中。

4、根据权利要求1-2中任一项所述的量产真空镀膜系统，其特征还在于：所述的真空仓之间的连接为串联、并联和/或混联。

5、根据权利要求1-2中任一项所述的量产真空镀膜系统，其特征在于：所述量产真空镀膜系统还包括工控机和/或可编程控制器。