[发明专利]MEMS光谱气敏传感器

摘要

本发明公开了一种MEMS光谱气敏传感器，利用光谱分析的手段实现目标气体的定性及定量分析。该传感器由目标气体放电发出的红外光在待测气体中的吸收量得到目标气体的浓度。该吸收量是由通过参比室的红外光光强与通过测量室的红外光光强之差确定。该传感器主要由射频发光管、目标气体特征吸收参比室(主参比室)、目标气体特征吸收测量室(主测量室)、非特征吸收测量室(副测量室)和非特征吸收参比室(副参比室)组成。主参比室和主测量室用于目标气体的浓度检验，副参比室和副测量室用于确定主测量室内的红外吸收是否是由干扰气体引起。利用本发明，解决了现有传感器选择性低、抗干扰能力差、寿命短的缺点，并且成本低廉，便于广泛使用。

主权项

1、一种微电子机械系统MEMS光谱气敏传感器，利用光谱分析原理实现目标气体的定性及定量分析，其特征在于，该传感器由制作在(110)硅片上的射频发光管(1)、目标气体特征吸收参比室(2)、目标气体特征吸收测量室(3)、非特征吸收测量室(4)和非特征吸收参比室(5)构成；所述射频发光管(1)为在(110)硅片上刻蚀形成的密封有目标气体的六边形封闭腔室，该封闭腔室一左右对称的非(111)面侧壁上且朝向腔室内部设置有用于激励目标气体电离放电的一电极对(101)；该射频发光管(1)通过封闭腔室另外两对左右对称的(111)面侧壁分别与目标气体特征吸收参比室(2)、目标气体特征吸收测量室(3)、非特征吸收测量室(4)和非特征吸收参比室(5)相连接，其中，目标气体特征吸收参比室(2)和目标气体特征吸收测量室(3)通过相邻的两(111)面侧壁与射频发光管(1)相连接，非特征吸收测量室(4)和非特征吸收参比室(5)通过另外一对相邻的两(111)面侧壁与射频发光管(1)相连接，目标气体特征吸收参比室(2)和非特征吸收测量室(4)与目标气体特征吸收测量室(3)和非特征吸收参比室(5)左右对称。