[发明专利]吹扫气体单元和吹扫气体供应集成单元有效
| 申请号： | 200710140837.6 | 申请日： | 2007-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN101122013A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 冈部庸之;森洋司;稻垣竹矢;杉野彰仁 | 申请（专利权）人： | 喜开理株式会社;东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;H01L21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 车文;代易宁 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为提供具有较小底部空间的吹扫气体单元和吹扫气体供应集成单元，所述吹扫气体单元包括：输入块，该输入块用于将吹扫气体输入到所述吹扫气体单元中，所述输入块包括穿过所述输入块形成以在所述输入块的侧表面中提供开口的吹扫通道、和从所述吹扫通道分叉形成的输入通道；输出块，该输出块用于从所述吹扫气体单元输出所述吹扫气体；以及连通块，该连通块连接至所述输入块和所述输出块，以提供在所述输入块和所述输出块之间的连通。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 单元 供应 集成 | ||
【主权项】：
1.一种吹扫气体单元，该吹扫气体单元包括：输入块，该输入块用于将吹扫气体输入到所述吹扫气体单元中，所述输入块包括穿过所述输入块形成以在所述输入块的侧表面中提供开口的吹扫通道、和从所述吹扫通道分叉形成的输入通道；输出块，该输出块用于从所述吹扫气体单元输出所述吹扫气体；以及连通块，该连通块连接至所述输入块和所述输出块，以提供在所述输入块和所述输出块之间的连通。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
