[发明专利]通过将材料喷墨印刷到堤坝结构中的器件制造和压印设备无效

专利信息
申请号: 200710085579.6 申请日: 2007-03-12
公开(公告)号: CN101034667A 公开(公告)日: 2007-09-12
发明(设计)人: 李顺普;克里斯托弗·约瑟姆;戴维·鲁塞尔;托马斯·库格勒 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;B81C1/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 王玮
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及电子器件的制造。本发明公开了一种用于制造电子器件的方法,所述方法包括:使用压印设备204压印工件200、202的表面,以在所述工件表面上形成具有至少两级厚度反差的微结构;和在所述微结构上沉积包含功能材料的流体208。在一个优选实施方案中,所述沉积流体208的步骤包括喷墨印刷。本发明还公开了一种用于在工件200、202上产生微结构的压印设备204,压印设备204包含第一表面和相对于第一表面的至少两种不同高度的阶梯。
搜索关键词: 通过 材料 喷墨 印刷 堤坝 结构 中的 器件 制造 压印 设备
【主权项】:
1.一种用于制造电子器件的方法,所述方法包括:使用压印设备压印工件的表面,以在所述工件表面上形成至少具有两级厚度反差的微结构;和在所述微结构上沉积包含功能材料的流体。
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