[发明专利]开口与介层窗开口的制造方法

摘要

本发明为一种开口的制造方法，先提供衬底，衬底上已形成有导电部与介电层，导电部由下而上至少包括导体层与保护层，介电层覆盖住导电部。使用含有高聚合物气体的反应气体对介电层进行第一干式刻蚀步骤，于保护层上形成开口，开口底部具有初始尺寸，且开口底面与开口内壁夹一钝角。接着再进行开口扩大步骤，使开口底部达到一目标尺寸，目标尺寸大于初始尺寸，且开口至少未裸露出导体层。

主权项

1. 一种开口的制造方法，其特征在于该制造方法包括：提供一衬底，该衬底上已形成有一导电部与一介电层，该导电部由下而上至少包括一导体层与一保护层，该介电层覆盖住该导电部；使用含有一高聚合物气体的一反应气体对该介电层进行一第一干式刻蚀步骤，于该保护层上形成一开口，该开口底部具有一初始尺寸，且该开口底面与该开口内壁夹一钝角；进行一开口扩大步骤，使该开口底部达到一目标尺寸，该目标尺寸大于该初始尺寸，且该开口至少未裸露出该导体层。