[发明专利]一种阻抗匹配的方法及阻抗匹配装置有效
| 申请号： | 200710062686.7 | 申请日： | 2007-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN101221881A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/00 | 分类号： | H01J37/00;H05H1/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明;姚巍 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种阻抗匹配的方法及阻抗匹配装置，具体包括：将射频输入信号中谐波频率信号从基频信号分离出来，利用分频单元对谐波频率信号进行分频处理转化为与基频信号频率相同的次基频信号，并对所述基频信号与次基频信号进行阻抗匹配达到匹配状态。因此，本发明的实现可以将反射功率降至最低，从而可保证半导体制造工艺的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阻抗匹配 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种阻抗匹配的方法，其特征在于，包括：将射频输入信号中谐波频率信号从基频信号分离出来，并对谐波频率信号进行分频处理转化为与基频信号频率相同的次基频信号；对所述基频信号与次基频信号进行阻抗匹配达到匹配状态。
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