[实用新型]长寿命离子源中的间热式阴极固定装置无效

专利信息
申请号: 200620113057.3 申请日: 2006-04-24
公开(公告)号: CN200953336Y 公开(公告)日: 2007-09-26
发明(设计)人: 伍三忠;戴习毛;易文杰;许波涛 申请(专利权)人: 北京中科信电子装备有限公司
主分类号: H01J37/08 分类号: H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/425;C30B31/22
代理公司: 北京中海智圣知识产权代理有限公司 代理人: 曾永珠
地址: 100036北京市海淀区复兴路*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种长寿命离子源中的间热式阴极固定装置,包括石墨热屏蔽板、阴极连接螺孔、两固定连接孔、两阴极引线螺孔及两定位销钉:所述的石墨热屏蔽板为高纯石墨材料,具有良好的耐高温、抗腐蚀性能,通过阴极连接螺孔安装阴极,并对放电弧室进行热屏蔽隔离;所述的阴极连接螺孔安装间热式阴极,固定连接孔安装固定石墨热屏蔽板于陶瓷绝缘块上;阴极引线螺孔连接阴极高电位引线;定位销钉使石墨热屏蔽板与陶瓷绝缘块相对位置保持不变,本实用新型结构连接稳定可靠,具有抗热变形、抗高温腐蚀性能好特点;同时结构连接操作方便,可靠性好,保证了离子源长期工作的稳定可靠性。
搜索关键词: 寿命 离子源 中的 间热式 阴极 固定 装置
【主权项】:
1、长寿命离子源中的间热式阴极固定装置,包括石墨热屏蔽板、阴极连接螺孔、两固定连接孔、两阴极引线螺孔及两定位销钉;阴极连接螺孔、两固定连接孔、两阴极引线螺孔及两定位销钉都设置在石墨热屏蔽板上。其特征是所述的石墨热屏蔽板通过阴极连接螺孔安装阴极,并对放电弧室进行热屏蔽隔离;所述的阴极连接螺孔安装间热式阴极,并使其位置保持不变;所述的固定连接孔安装固定石墨热屏蔽板于陶瓷绝缘块上;所述的阴极引线螺孔连接阴极高电位引线,实现偏置电压供电;所述的定位销钉使石墨热屏蔽板与陶瓷绝缘块相对位置保持不变,从而保证阴极与弧室间相对位置保持不变。
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