[发明专利]激光加工装置有效
申请号: | 200610169016.0 | 申请日: | 2006-12-15 |
公开(公告)号: | CN1981977A | 公开(公告)日: | 2007-06-20 |
发明(设计)人: | 能丸圭司;金内靖臣;森数洋司 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪斯科 |
主分类号: | B23K26/04 | 分类号: | B23K26/04;B23K26/08;B23K26/42;B23K26/36;H01S3/10;G02B27/00;B23Q16/02;B23Q17/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 陈英俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种激光加工装置,具备:卡盘台,保持被加工物;激光光束照射机构,对保持在卡盘台上的被加工物照射激光光束;加工进给机构,使卡盘台和激光光束照射机构在加工进给方向(X轴方向)上相对地移动;分度进给机构,使卡盘台和激光光束照射机构,在与加工进给方向(X轴方向)正交的分度进给方向(Y轴方向)上相对移动;激光光束照射机构具备:激光光束振荡机构,振荡激光光束;第一声光偏转机构,将激光光束振荡机构振荡的激光光束的光轴向加工进给方向(X轴方向)偏转;第二声光偏转机构,将激光光束振荡机构振荡的激光光束的光轴向分度进给方向(Y轴方向)偏转。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】:
1.一种激光加工装置,其特征在于,具备:卡盘台,保持被加工物;激光光束照射机构,对保持在该卡盘台上的被加工物照射激光光束;加工进给机构,使该卡盘台和该激光光束照射机构在加工进给方向即X轴方向上相对地移动;分度进给机构,使该卡盘台和该激光光束照射机构,在与该加工进给方向即X轴方向正交的分度进给方向即Y轴方向上相对移动;该激光光束照射机构具备:激光光束振荡机构,振荡激光光束;第一声光偏转机构,将该激光光束振荡机构振荡的激光光束的光轴向加工进给方向即X轴方向偏转;第二声光偏转机构,将该激光光束振荡机构振荡的激光光束的光轴向分度进给方向即Y轴方向偏转。
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