[发明专利]真空蒸镀机台的蒸镀源装置及其蒸镀方法有效
| 申请号： | 200610156631.8 | 申请日： | 2006-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1995445A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 李兴铨 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空蒸镀机台的蒸镀源装置及其蒸镀方法，该真空蒸镀机台包括有复数蒸镀源装置。每一蒸镀源装置包括有主要蒸镀源、至少一备用蒸镀源以及控制电路，控制电路分别与该主要蒸镀源以及备用蒸镀源电性连接，由控制电路使主要蒸镀源以及备用蒸镀源在不同的时域中作动。本发明可以提高蒸镀制造工艺的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 机台 蒸镀源 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空蒸镀机台的蒸镀源装置，该装置包括：一主要蒸镀源；至少一备用蒸镀源；以及一控制电路，所述控制电路分别与所述主要蒸镀源以及所述备用蒸镀源电性连接，由所述控制电路使所述主要蒸镀源以及所述备用蒸镀源在不同的时域中作动。
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