[发明专利]镀膜用转盘及镀膜机无效
| 申请号： | 200610032815.3 | 申请日： | 2006-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN1995444A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 李欣和;董才士 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56;G02B1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜用转盘，其包括：一个转盘本体；设置在该转盘本体上的至少一个安装口；至少一个基片夹具，每个基片夹具对应收容在一个安装口内；每个基片夹具对应设有一个马达，该马达用于驱动对应的基片夹具翻转。本发明提供的镀膜用转盘避免手动翻转而导致的真空抽气模组、加热器、镀膜靶及充气孔等元件的重复使用，从而，减小设备损耗，降低设备成本。另外，本发明还提供使用上述镀膜用转盘的镀膜机。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 转盘 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜用转盘，其包括一个转盘本体及至少一个基片夹具，其特征在于，该镀膜用转盘还包括设置在该转盘本体上的至少一个安装口，每个基片夹具对应收容在一个安装口内，每个基片夹具对应设有一个马达，该马达用于驱动对应的基片夹具翻转。
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