[实用新型]真空锁差分抽气系统无效
| 申请号： | 200520142512.8 | 申请日： | 2005-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN2866522Y | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;郭健辉;彭立波;王迪平;孙勇;许波涛;易文杰;姚志丹;孙雪平;谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/425;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空锁差分抽气系统，它包括：差分抽气口、密封板、转动轴、碗状密封环、差分抽气法兰、密封圈、真空锁腔体和密封圈，其中密封板与真空锁腔体通过螺钉连接起来，密封板和真空锁腔体之间通过密封圈密封。差分抽气法兰放置在密封板以内，转动轴穿过真空锁腔体和差分抽气法兰实现转动密封，差分抽气法兰外圈由密封圈密封真空，内圈由密封环抱轴密封。差分抽气法兰中间环的预抽真空空间与差分抽气口相通。使真空锁转动轴实现转动快速的密封，从而快速稳定地建立靶室系统所必须的高真空环境，这样也就避免了晶片在充氮的过程中低能粒子对它的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 锁差分抽气 系统 | ||
【主权项】：
1、一种真空锁差分抽气系统包括：一差分抽气口、一密封板、一转动轴、一碗状密封环、一差分抽气法兰、一密封圈、一真空锁腔体、一密封圈，其特征是密封板与真空锁腔体通过螺钉连接起来，密封板和真空锁腔体之间通过密封圈密封，差分抽气法兰放置在密封板以内，转动轴穿过真空锁腔体和差分抽气法兰实现转动密封，差分抽气法兰外圈由密封圈密封真空，内圈由密封环抱轴密封，差分抽气法兰中间环的预抽真空空间与差分抽气口相通。
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