[发明专利]生成遮光带和透光带GDSII数据的方法无效

专利信息
申请号: 200510111428.4 申请日: 2005-12-13
公开(公告)号: CN1983022A 公开(公告)日: 2007-06-20
发明(设计)人: 张兴州;周京英;孙长江 申请(专利权)人: 上海华虹NEC电子有限公司
主分类号: G03F1/00 分类号: G03F1/00;H01L21/027
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人: 丁纪铁
地址: 201206上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种生成遮光带和透光带GDSII数据的方法,首先利用各个芯片的尺寸,各个芯片的横向个数,各个芯片的纵向个数,各个芯片的排列方式要素推算出遮光带和透光带的各个顶点的坐标,然后将所述的顶点的坐标直接转换为相应的GDSII数据。本发明可以消除因手动操作产生的失误,提高设计效率。适用于半导体集成电路工艺中掩模板制作。
搜索关键词: 生成 遮光 透光 gdsii 数据 方法
【主权项】:
1、一种生成遮光带和透光带GDSII数据的方法,其特征在于:首先利用各个芯片的尺寸,各个芯片的横向个数,各个芯片的纵向个数,各个芯片的排列方式要素推算出遮光带和透光带的各个顶点的坐标,然后将所述的顶点的坐标直接转换为相应的GDSII数据。
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