[发明专利]光掩模管理方法及其条形码辨识装置无效
| 申请号： | 200410092208.7 | 申请日： | 2004-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN1770016A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 刘国忠;曾文瑞 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00;G06K7/10;G06Q10/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种光掩模管理方法及其条形码辨识装置，其中光掩模管理方法包括下述步骤：先准备一条形码辨识装置；并对一光掩模上的一光掩模条形码进行辨识，再将辨识数据传入光掩模管理系统后，产生一工艺光掩模盒条形码；接着在无尘室中，将光掩模从一光掩模保护盒换装入一工艺光掩模盒中，且将工艺光掩模盒条形码设于工艺光掩模盒之上；之后将工艺光掩模盒条形码数据扫描登录在曝光设备；最后，曝光设备利用此光掩模进行曝光。而条形码辨识装置包括：至少一用来夹持光掩模保护盒的夹持件；至少一架设于夹持件上方的读取头，以读取光掩模条形码；以及一第一光源提供第一光线射向光掩模保护盒，以提高读取头辨识度。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩模 管理 方法 及其 条形码 辨识 装置 | ||
【主权项】：
1.一种条形码辨识装置，用以对置于一光掩模保护盒中的一光掩模上的一光掩模条形码进行辨识，包括：至少一夹持件，以夹持该光掩模保护盒；至少一读取头，相对于该光掩模保护盒位置设置，用以读取该光掩模条形码；一第一光源，对该光掩模保护盒提供一第一光线照射，以提高该读取头的辨识能力。
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