[发明专利]氧化锌层的形成方法以及光电器件的制造方法无效

专利信息
申请号: 200410049114.1 申请日: 1999-01-22
公开(公告)号: CN1551378A 公开(公告)日: 2004-12-01
发明(设计)人: 荒尾浩三;田村秀男;远山上;园田雄一;官本祐介 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/20
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 王健
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供一种带氧化锌层的基片,至少氧化锌层设置在支撑基片上,其中氧化锌层从支撑基片侧开始依次包括具有c轴垂直于支撑基片的氧化锌层和c轴向支撑基片倾斜的氧化锌层;以及半导体层形成在带氧化锌层的基片上的光电器件。由此提供具有优良的反射性质和光限制效应,以及高光电转换效率的廉价的光电器件。
搜索关键词: 氧化锌 形成 方法 以及 光电 器件 制造
【主权项】:
1.一种形成氧化锌层的方法,包括通过在含邻苯二甲酸的水溶液中进行电沉积而在基片上形成氧化锌层。
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