[发明专利]使用挡板镀制紫外波段光学薄膜的方法无效
| 申请号： | 200410018158.8 | 申请日： | 2004-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN1570201A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 尚淑珍;易葵;张大伟;占美琼;廖春艳;邵建达;范正修 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;G02B1/10 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种在镀膜机的真空室内使用挡板镀制紫外波段光学薄膜的方法，其基本原理是：薄膜的几何厚度与光学厚度成一定比例关系，采用单独的监控片进行膜厚控制，在镀膜过程中使用挡板，使基片的膜料被均匀遮挡掉一定比例，而控制片的膜料不被遮挡，以实现控制片上的膜厚与基片上的膜厚成一定比例，控制片上的膜厚与监控波长相符，基片上的膜厚由监控波长与挡板的形状所决定，为控制片上的膜厚的几分之一，从而达到用长波做监控波长控制短波长薄膜制备的目的。本发明是利用现有镀膜机的光控系统进行的，可实现紫外薄膜的精确监控，提高了设备的通用性。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 挡板 紫外 波段 光学薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1、一种在镀膜机的真空室内使用挡板镀制紫外波段光学薄膜的方法，其特征在于基本原理是：采用单独的监控片进行膜厚控制，在镀膜过程中使用挡板，使基片的膜料被均匀遮挡掉一定比例，而控制片的膜料不被遮挡，以实现控制片上的膜厚与基片上的膜厚成一定比例，控制片上的膜厚与监控波长相符，基片上的膜厚由监控波长与挡板的形状所决定，为控制片上的膜厚的几分之一，从而达到用长波做监控波长控制短波长薄膜制备。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410018158.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：实现网络专线接入的方法
- 下一篇：通风罩用微波炉的排气装置
- 同类专利
- 专利分类
