专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]沉积包封膜的方法-CN201380009246.9有效
  • J·J·陈;T·K·元;B·S·朴;Y·J·崔;S·Y·崔 - 应用材料公司
  • 2013-02-15 - 2017-02-22 - H01L51/56
  • 描述一种将材料层(例如包封膜)沉积至基板上的方法及装置。于一实施例,包封膜形成方法包括传送气体混合物至处理室中,此气体混合物包括含硅气体、第一含氮气体、第二含氮气体以及氢气;施加介于约0.350瓦/平方厘米至约0.903瓦/平方厘米的能量至气体分配板组件,以激励处理室中的气体混合物,气体分配板组件与位于所述处理室中的基板的间隔约800密耳至约1800密耳,且气体分配板组件在所述基板上方;于介于约0.5托耳至约3.0托耳之间的压力下,维持于处理室中的激励的气体混合物;以及在此被激励的气体混合物存在之下,沉积无机包封膜至基板上。于其他实施例,有机电介质层是夹在无机包封层之间。
  • 沉积包封膜方法

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