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[发明专利]确定结构特性的方法和量测设备-CN201980036860.1有效
发明人： J·F·德波尔;V·T·滕纳;C·弥赛西;A·J·登鲍埃夫 -专利权人：阿姆斯特丹自由大学基金会;荷兰科学研究机构基金会;阿姆斯特丹大学;ASML荷兰有限公司
申请日： 2019-03-19 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：公开了一种用于确定结构的特性的方法和设备。在一种布置中，利用第一照射辐射照射结构以产生第一散射辐射。通过第一散射辐射的到达传感器的部分与第一参考辐射之间的干涉形成第一干涉图案。还利用第二照射辐射从不同方向照射该结构。使用第二参考辐射形成第二干涉图案。第一和第二干涉图案用于确定结构的特性。第一和第二参考辐射到传感器上的方位角是不同的。
确定结构特性方法设备

[发明专利]多模波导成像-CN201980082784.8在审
发明人： L·V·阿米托诺娃;J·F·德波尔 -专利权人：自由大学基金会
申请日： 2019-10-18 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：一种成像系统(100)，包括多模波导(Wm)，所述多模波导被配置成接收从光源(20)进入到其近侧(13p)的输入光(Li)，并且基于所述输入光(Li)将对应的散斑图案(Pn)从其远侧(13d)输出，以照明要成像的样本(S)。单模波导(Ws)连接到所述多模波导(Wm)以将来自所述光源(20)的输入光(Li)耦合到所述多模波导(Wm)。所述多模波导(Wm)具有相对短的长度(Zm)和相对高的抗弯刚度(R)，以维持进入所述多模波导(Wm)的输入光(Li)的输入特性(λ,A)与所述散斑图案(Pn)的空间分布(Ixy)之间的独特关系。单模波导(Ws)可以相对长且柔软，以允许短的刚性多模波导(Wm)的移动。
波导成像