“J·科布森”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网_中国专利网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果1个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]光学控制模块、掩模版及包括光控模块和掩模版的方法-CN202010303264.X在审
发明人： L·麦克金;J·科布森;A·H·J·坎普赫尤斯 -专利权人：恩智浦美国有限公司
申请日： 2020-04-17 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开涉及光学控制模块、掩模版及包括光控模块和掩模版的方法。用于集成电路装置图案化的光学控制模块、掩模版及包括光学控制模块和掩模版的方法。方法包括经由掩模版在半导体衬底的表面上曝光初始掩模版曝光场和后续掩模版曝光场。初始掩模版曝光场和后续掩模版曝光场在半导体衬底上图案化相应的阵列区域和边缘区域。初始掩模版曝光场与所述后续掩模版曝光场部分重叠，使得在初始掩模版曝光场的曝光期间图案化的初始光学控制模块(OCM)和在后续掩模版曝光场的曝光期间图案化的后续OCM都定位在单个控制模块管芯内。掩模版包括可以在方法期间使用或可以形成所述集成电路装置的掩模版。集成电路装置包括使用方法或掩模版形成的集成电路装置。
光学控制模块模版包括光控方法

1
共 1 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top