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[发明专利]用于微机械窗结构的制造方法和相应的微机械窗结构-CN201680041349.7有效
发明人： R·施特劳布;S·平特;J·穆霍 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于微机械窗结构的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：提供衬底(1)，其中，所述衬底(1)具有正面(4)和背面(5)；在所述正面(4)上形成第一凹部(6)；在所述正面(4)和所述第一凹部(6)上构造覆层(8；8‘、8“)；并且在所述背面(5)上形成第二凹部(7)，使得所述覆层(8)至少局部地露出，由此通过所述覆层的露出区域形成窗(F)。
用于微机结构制造方法相应

[发明专利]具有振荡件的微机械构件及其制造方法和用于激发可调节部件围绕旋转轴线的运动的方法-CN201780083100.7有效
发明人： S·平特;P·考普曼;J·穆霍;H·格鲁茨埃克;J·佛伦茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械构件，所述微机械构件具有：保持件(10)；可调节部件(12)，该可调节部件至少通过至少一个弹簧(14a、14b、14c)与所述保持件(10)连接；和致动器装置(18)，其中，所述可调节部件(12)围绕第一转动轴线(20)的第一振荡运动(Φ1)和被置于所述第一振荡运动(Φ1)中的所述可调节部件(12)围绕第二转动轴线(22)的第二振荡运动(Φ2)能借助于所述致动器装置(18)被激发；其中，所述可调节部件(12)至少借助于所述至少一个弹簧(14a、14b、14c)这样能调节地布置在所述保持件(10)上，使得所述可调节部件(12)能借助于引起的扭矩(M2)围绕垂直于所述第一转动轴线(20)且垂直于所述第二转动轴线(22)定向的旋转轴线(24)调节。本发明还涉及一种用于激发可调节部件(12)围绕旋转轴线(24)的运动的方法。
具有振荡微机构件及其制造方法用于激发调节部件围绕旋转轴线运动

[发明专利]微机械构件和用于微机械构件的制造方法-CN201780064777.6有效
发明人： R·施特劳布;A·芬恩;F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;J·穆霍;H·格鲁茨埃克 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械构件，具有夹持装置(10)，借助至少一个线圈支架(12)保持的并且包括由至少一种导电材料制成的印制导线(22)的至少一个线圈绕组(14)，其中，所述至少一个线圈绕组(14)的至少一个第一部分区段(14a)锚固在配属的线圈支架(12)上，和能变换位置的部件(16)，其中，所述至少一个线圈支架(12)和所述能变换位置的部件(16)相互连接并且通过至少一个弹簧元件(18)与所述夹持装置(10)连接，使得所述能变换位置的部件(16)相对于所述夹持装置(10)围绕至少一个旋转轴线(20)能变换位置，并且其中，所述至少一个线圈绕组(14)的所述至少一个第一部分区段(14a)锚固在配属的线圈支架(12)上，而同一所述线圈绕组(14)的至少一个第二部分区段(14b)作为悬置的部分区段(14b)跨越在配属的线圈支架(12)中构造的至少一个中间空隙(24)。
微机构件用于制造方法

[发明专利]微机械构件和用于微机械构件的制造方法-CN201811365018.6有效
发明人： D·迈尔;J·穆霍;C·克普尔尼克;H·格鲁特杰克;R·施特劳布;S·马克;T·巴尔斯林科 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械构件，其具有保持装置(12)、带有反射表面的微镜(10)和至少一个弹簧(14a，14b)，其中，所述微镜(10)至少通过所述至少一个弹簧(14a，14b)这样与所述保持装置(12)连接，使得所述微镜(10)相对于所述保持装置(12)能围绕至少一个旋转轴线(16)调整，其中，所述反射表面至少部分地构造在所述微镜(10)的张紧的膜片(18)的第一膜片表面(18a)上，并且所述微镜具有指向离开所述第一膜片表面(18a)方向的、在空气或真空中张紧的第二膜片表面(18b)。此外，本发明涉及一种微机械构件的制造方法。
微机构件用于制造方法

[发明专利]微机械微镜组件和相应的运行方法-CN201880067776.1有效
发明人： J·穆霍;H·格鲁茨埃克;T·沙里;P·考普曼 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械微镜组件和相应的运行方法。微机械微镜组件配备有：框架(1)，该框架具有凹槽(AS)；在框架(1)上在凹槽(AS)的区域中悬挂在第一平面(x，y)中的微镜装置(10)；悬挂在框架(1)上的、伸入到凹槽(AS)的区域中的第一枢转翼装置(2a)，该第一枢转翼装置通过第一弹簧装置(4a)耦合在微镜装置(10)上；悬挂在框架(1)上的、伸入到凹槽(AS)的区域中的第二枢转翼装置(3a)，该第二枢转翼装置通过第二弹簧装置(4b)耦合在微镜装置(10)上；用于使第一枢转翼装置(3a)沿着垂直于第一平面(x，y)布置的第一轴(z)偏移的第一驱动装置(81a)；和用于使第二枢转翼装置(3b)沿着第一轴(z)反相偏移的第二驱动装置(82a)。微镜装置(10)能够通过第一枢转翼装置(2a)和第二枢转翼装置(3a)的反相偏移围绕第二轴(x)从第一平面(x，y)中弹性地旋转出来。第一枢转翼装置(2a)和第二枢转翼装置(3a)构型为，使得它们在微镜装置(10)的第一侧上沿着基本上垂直于第二轴(x)布置的第三轴(y)的方向延伸超过第二轴(x)。
微机械微镜组件相应运行方法

[发明专利]微机械弹簧设备和用于制造微机械弹簧设备的方法-CN201680029275.5有效
发明人： H·施佩希特;M·普蒂尼亚诺;H·格鲁茨埃克;O-A·普吕茨;F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;J·穆霍 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-04-01 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微机械设备以及一种相应的制造方法。所述设备构造具有：微机械设备(10)，具有：弹簧装置(16；216；316；416；516)，所述弹簧装置在所述弹簧装置(16)的至少一个附接点(24‑i；124)以能运动的方式能耦接到或者已耦接到框架装置(14)上；其中，所述弹簧装置(16；216；316；416；516)具有至少一个接片(18‑i；218‑i；318‑i；518‑1)，所述至少一个接片从所述至少一个附接点(24‑i；124)开始延伸；并且其中，所述至少一个接片(18‑i；218‑i；318‑i；518‑1)这样结构化，使得所述至少一个接片具有至少一个第一区段(20‑i；220‑i)以及至少一个扩宽区段(22‑i；222‑i；522)用于减小所述弹簧装置(16)的非线性，所述至少一个扩宽区段相对于所述第一区段(20‑i；220‑i)扩宽。
微机弹簧设备用于制造方法

[发明专利]微机械构件和用于微机械构件的制造方法-CN201980059926.9在审
发明人： T·沙里;R·伯森德费尔;K·德塞尔;J·米哈列维奇;J·穆霍;F·沙茨;J·里德里希-莫勒;A·埃贝施佩歇尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械构件，具有支架(10)、可调整部件(12)和第一曲折形弹簧(16a)和与第一曲折形弹簧(16a)关于第一对称平面(18)镜面对称地构造的第二曲折形弹簧(16b)，其中，构造有第一致动器装置(24a)和第二致动器装置(24b)，使得借助于所述第一致动器装置(24a)和所述第二致动器装置(24b)能够激励出所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的并且关于所述第一对称平面(18)镜面对称的变形，其中，微机械构件也包括分别沿着旋转轴(32)延伸的第一扭转弹簧(26a)和第二扭转弹簧(26b)，其中，所述可调整部件(12)能够至少借助于所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的和镜面对称的变形关于所述支架(10)围绕所述旋转轴(32)进行调整。
微机构件用于制造方法

[发明专利]内插器衬底、MEMS设备以及相应的制造方法-CN201880086088.X在审
发明人： J·穆霍;R·施特劳布;S·马克;C·克普尔尼克 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种内插器衬底、一种MEMS设备以及一种相应的制造方法。内插器衬底(1)配备有前侧(VS)和后侧(RS)；从所述后侧(RS)出发的腔(K1a；K1b)，该腔延伸直至第一深度(t1)；贯通开口(V)；和布置在所述腔(K1a；K1b)和所述贯通开口(V)之间的沉降区域(ST1；ST2)，所述沉降区域从所述后侧(RS)出发相对于所述后侧(RS)沉降直至第二深度(t2)；其中，所述第一深度(t1)大于所述第二深度(t2)。
内插衬底 mems 设备以及相应制造方法

[发明专利]微镜设备和投影装置-CN201580031375.7有效
发明人： R·施特劳布;J·巴德尔;A·迪尔;F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;J·穆霍;H·格鲁茨埃克 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种微镜设备，所述微镜设备具有：驱动装置，所述驱动装置具有位于第一平面中的能够运动的驱动元件并且具有引导装置；镜，所述镜弹性地与所述驱动元件耦合并且在第二平面中位于静止位置中，所述第二平面平行于所述第一平面；其中，所述引导装置构造用于在位于所述第一平面中的直线上引导所述驱动元件的运动。此外，本发明公开一种相应的投影装置。
设备投影装置

[发明专利]镜设备以及投影装置-CN201580008827.X有效
发明人： R·施特劳布;K·德塞尔;F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;H·格鲁茨埃克;Z·莱什詹;J·巴德尔;J·穆霍;F·沙茨;S·安布鲁斯特;S·莱迪克;J·佛伦茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-01-21 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种镜设备，所述镜设备具有：镜，所述镜振动地受支承；线圈；至少一个第一弹簧，所述至少一个第一弹簧将所述镜和所述线圈如此互相耦合，使得所述线圈布置为振动的所述镜的平衡重。本发明还公开一种相应的投影装置。
设备以及投影装置

[发明专利]微镜及用于至少一个可设置或设置在微镜装置中的微镜的制造方法-CN201410708648.4有效
发明人： S·安布鲁斯特;H·格鲁特杰克;J·穆霍;F·N·恩吉蒙齐;J·巴德尔;S·平特;R·施特劳布;Z·莱什詹 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于微镜装置的微镜(10)，所述微镜具有镜侧(12)和远离所述镜侧(12)定向的背侧(14)，其中所述背侧(14)的至少一个中央区域具有至少一个与所述镜侧(12)平面平行的面(18a，18b)，其中如此成型所述背侧(14)，使得所述背侧(14)的每一个侧区域在所述中央区域的相对置的两侧上与所述背侧(14)的中央区域连接，所述每一个侧区域分别具有至少一个拱形的和/或相对于所述镜侧(12)倾斜定向的侧面(20)，其中从所述中央区域出发所述微镜(10)的高度沿着所述微镜(10)的延伸穿过所述中央区域和两个侧区域的横截面连续减小。本发明同样涉及一种微镜装置。此外，本发明涉及一种用于至少一个可设置或设置在微镜装置中的微镜的制造方法以及一种用于微镜装置的制造方法。
用于至少一个设置装置中的制造方法

[发明专利]微镜组件和投影装置-CN201580031689.7有效
发明人： R·施特劳布;S·平特;J·巴德尔;A·迪尔;F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;J·穆霍;H·格鲁茨埃克;S·马克 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种微镜组件，所述微镜组件具有弹性悬挂的镜；具有至少一个止挡装置，该止挡装置构造成用于在所述镜从该镜的静止位置出发沿预给定方向运动时限制所述镜的运动。此外，本发明公开了一种投影装置。
组件投影装置

[发明专利]微机械结构元件和用于微机械结构元件的相应检查方法-CN201410426178.2有效
发明人： S·赖斯;S·安布鲁斯特;H·格鲁特杰克;J·穆霍;F·N·恩吉蒙齐;J·巴德尔;R·施特劳布;W·海因策尔曼 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-08-26 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种微机械结构元件和一种用于微机械结构元件的相应检查方法。微机械结构元件包括：至少一个第一区域(1)，所述至少一个第一区域通过一弹簧装置(2a)与一第二区域(100)弹性连接；一布置在所述弹簧装置(2a)中和/或上的电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)，所述电阻装置能够在所述弹簧装置(2a、2b；2a'、2a″、2b'、2b″；22‑25)损坏时至少部分被中断；一检测装置(50；50')，所述检测装置与所述电阻装置(R)电连接，用于检测所述电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)的中断和用于产生相应的检测信号(S)。
微机结构元件用于相应检查方法

[发明专利]微镜组件和制造方法-CN201580032509.7有效
发明人： R·施特劳布;J·巴德尔;J·穆霍 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微镜组件，其具有镜膜片；具有至少一个第一承载元件；针对每个第一承载元件具有一个第一耦合元件，其布置在镜膜片和相应第一承载元件之间并且构造用于使相应第一承载元件与镜膜片机械地耦合；具有至少一个第二承载元件，其与至少一个第一承载元件机械地耦合；和针对每个第二承载元件具有一个第二耦合元件，其构造用于机械式接触。此外，本发明公开了一种用于制造按照本发明微镜组件的方法。
组件制造方法

[发明专利]微机械部件和用于微机械部件的制造方法-CN201380075931.1有效
发明人： J·穆霍;H·格鲁茨埃克;F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;Z·莱什詹;S·赖斯 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2013-04-24 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械部件，其具有：保持装置(10)；驱动体(12)，所述驱动体具有至少一个设置在其上的线圈装置(16)，所述线圈装置通过至少一个弹簧(20)如此与所述保持装置(10)连接，使得所述驱动体(12)由于引导通过所述至少一个线圈装置(16)的电流的和在所述至少一个线圈装置(16)上出现的磁场(24)的相互作用可以置于驱动运动；调节元件(14)，所述调节元件如此与所述驱动体(12)连接，使得所述调节元件(14)可以借助已置于所述驱动运动的驱动体(12)置于具有至少一个围绕转动轴线(32)定向的运动分量的偏移运动，其中所述驱动体(12)和所述调节元件(14)通过所述至少一个连接元件(28，30)如此彼此布置，使得所述转动轴线(32)与所述驱动体(12)的重心(S)间隔开地延伸。此外，本发明还涉及一种用于微机械部件的制造方法。
微机部件用于制造方法

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