专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]使用电子通道图案确定切角-CN202210716938.8在审
  • H·韩;L·斯特拉科斯;T·汉特谢尔;T·维斯塔维尔;C·柏雷特 - FEI 公司
  • 2022-06-23 - 2023-01-13 - G01N23/20
  • 方法和设备使用电子通道图案(ECP)确定晶体样品的切角,其中反向散射电子强度表现出取决于晶体取向的角度变化。当所述样品进行方位角旋转时,垂直于给定晶体平面的晶带轴轨迹为圆。在以倾斜角为轴呈现的ECP图像上,所述圆的半径是所述样品的所述切角。大切角由将所述晶带轴带入ECP视场的倾斜技术确定。ECP是用扫描电子束和单片反向散射电子检测器产生的;或者替代地是用静止电子束和像素化电子反向散射衍射检测器产生的。应用包括应变工程、过程监测、检测空间变化和来料晶片检验。方法比X射线衍射快40×。0.01–0.1°精度支持半导体应用。
  • 使用电子通道图案确定切角

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