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[发明专利]用于制造具有悬空的压力传感器装置的微机械构件的方法和微机械构件-CN201780054553.7有效
发明人： T·林德曼;H·施塔尔;M·米奇克;D·豪格;D·克歇尔;A·丹嫩贝格;M·施瓦茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-08-24 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造具有悬空的压力传感器装置(12)的微机械构件(100)的方法以及一种相应的微机械构件(100)。所述方法具有以下步骤：在第一衬底(10)的第一外面中或处构造导电的牺牲元件(14)；将第二衬底(20)在所述第一衬底(10)的外面处或上安置在所述牺牲元件(14)上方；构造压力传感器装置(12)，包括所述第二衬底(20)的阳极蚀刻；构造在所述第二衬底(20)中的至少一个沟(22)，该沟达到所述牺牲元件(14)；并且至少部分地移除(S50)所述牺牲元件(14)以使所述压力传感器装置(12)悬空。
用于制造具有悬空压力传感器装置微机构件方法

[发明专利]用于制造微机械构件的方法-CN201711011247.3有效
发明人： H·施塔尔;A·朔伊尔勒;H·施佩希特;M·温克;R·豪斯纳;V·施米茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，其中，微机械构件包括衬底装置和罩装置，其中，在准备步骤中，使衬底装置和/或罩装置结构化，其中，在第一子步骤中，设定第一压力和/或第一化学组分，并且将衬底装置和罩装置这样相互连接，使得形成相对于微机械构件的周围环境封闭的第一空穴，其中，在第一空穴中存在第一压力和/或包含第一化学组分，其中，在第二子步骤中，设定第二压力和/或第二化学组分，并且衬底装置和罩装置这样相互连接，使得形成相对于微机械构件的周围环境并且相对于第一空穴封闭的第二空穴，其中，在第二空穴中存在第二压力和/或包含第二化学组分。
用于制造微机构件方法

[发明专利]用于制造至少一个第一和第二微镜设备的方法-CN202180029195.0在审
发明人： H·施塔尔;R·施特劳布 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造至少一个第一(205)和第二微镜设备(206)的方法。在此，提供尤其是板状的、具有前侧(110)和背侧(120)的硅晶片(100)。然后，将氧化硅层(130)施加到所述硅晶片(100、101)的至少所述前侧(110)上。随后，如此去除所述氧化硅层(130)，使得产生所述氧化硅层(130)的至少一个第一分离区域(131)和至少一个第二分离区域(132)，其中，所述氧化硅层(130)的第一(131)和第二分离区域(132)在空间上、沿着分离平面(140)彼此分离地布置。然后，将硅层(150)施加到所述硅晶片(101)的前侧(110)和所述氧化硅层(130)上。随后，将蚀刻掩模(180)施加(70)到所述硅晶片(100)的背侧(120)上，其中，所述蚀刻掩模(180)沿着所述氧化硅层(130)的第一(131)和第二分离区域(132)的所述分离平面(140)具有第一开口(190)。随后，根据在所述硅晶片(100、101)的背侧(120)上的所述蚀刻掩模(180)并且根据所述硅晶片(100)的氧化硅层(130)、尤其是所述氧化硅层(130)的第一(131)和第二分离区域(132)，借助蚀刻方法来去除(80)所述硅层(150、350)和所述硅晶片(100、101)，使得产生至少一个第一(205)和第二微镜设备(206)。
用于制造至少一个第一第二设备方法

[发明专利]用于制造微机械元件的方法和微机械结构-CN201811119874.3在审
发明人： M·库恩克;H·施塔尔;S·马约尼 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造微机械元件的方法，所述方法包括以下步骤：‑制造具有用于微机械元件的功能层、至少部分包围功能层的牺牲层和在牺牲层上的封闭罩的微机械结构，‑将覆盖层施加到微机械结构上，‑在覆盖层中制造栅格结构，‑在栅格结构下方制造空腔作为通向牺牲层的通道，‑至少部分地移除牺牲层，‑将封闭层至少施加到覆盖层的栅格结构上用于封闭通向空腔的通道。
牺牲层微机械结构微机械元件栅格结构覆盖层制造功能层空腔施加封闭层封闭罩移除包围封闭

[发明专利]具有小的机械张力的多晶材料和用于产生多晶材料的方法-CN201810551540.7在审
发明人： A·哈特利布;H·施塔尔;J·拜恩特纳;J·巴茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明提出一种具有小的机械张力的多晶材料(5)，其中，多晶材料(5)包括第一类型(1)的一个或多个层和第二类型(2)的一个或多个层，其中，第一类型(1)的层和第二类型(2)的层分别具有至少一种多晶材料组分，其特征在于，第一类型(1)的层相比于第二类型(2)的层具有较小的平均晶粒尺寸，其中，第一类型(1)的层和第二类型(2)的层以交替的顺序至少部分相叠地布置，其中，在第一类型(1)的层和第二类型(2)的层之间的过渡可以是突然的或者连续的。
多晶材料平均晶粒交替的

[发明专利]具有改进的水分分布的实验室用培养箱-CN201410402997.3有效
发明人： W·皮扎雷克;J·A·施奈德;H·施塔尔 -专利权人：热电子LED有限公司
申请日： 2014-08-15 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： B01L1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种实验室用培养箱(1)，更特别地涉及一种气体处理培养箱，其包括装有门(10)的外壳体(11)和围绕内腔(2)的内壳体(3)，所述内壳体(3)包括底板(30)、顶板(31)、三个侧壁(32，33，34)和侧表面(35)，所述侧表面(35)能够由所述门(10)或由另外的内门(36)关闭，其中，存在流动通道(4)，所述流动通道包括在端部区域中的至少一个空气入口(40)和在不同的端部区域中的至少一个空气出口(41)，其中，所述至少一个空气出口(41)形成为使得流出的气体沿着侧壁(32，33，34)中的至少一个和/或侧表面(35)在内腔(2)的周边区域被引导，并且其中，能够被加热的水箱(5)设置在所述流动通道(4)内，使得在流动通道中流动的空气跨越或穿过所述水箱(5)流动。
具有改进水分分布实验室培养

[发明专利]用于微机械结构元件的层组件-CN201510224045.1在审
发明人： A·格罗塞;H·施塔尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-02-15 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：用于微机械结构元件(200)的层组件(100)，其具有：第一层(10)，其既可用于所述结构元件(200)的电布线也可用作所述结构元件(200)的电极；和耐氧化物蚀刻的第二层(20)，其布置在第一层(10)的下方，其中，该第二层(20)基本上在一个平面内构造。
用于微机结构元件组件

[发明专利]用于对气候箱的可用空间进行清洁的方法-CN201210599084.6有效
发明人： H·施塔尔 -专利权人：热电子LED有限公司
申请日： 2012-12-13 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： B01L1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于对气候箱(1)的可用空间(10)进行清洁的方法，所述可用空间(10)被壁(11′)包围并任选地具有配件(15)，通过加热贮水部(2)而在所述可用空间中产生蒸汽同时使蒸汽冷凝到所述可用空间的所述壁(11′)上以及冷凝到在所述可用空间(10)中的任意配件(15)上。
用于气候可用空间进行清洁方法

[发明专利]对内部加湿进行改进的实验室用气候箱-CN201210362486.4有效
发明人： W·皮扎雷克;H·施塔尔 -专利权人：热电子LED有限公司
申请日： 2012-09-26 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： B01L1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种实验室用气候箱（1），尤其是加气的培养箱，其具有由外壳（2）封住的内部（3）及设置在内部（3）之外的蒸汽发生器（4），蒸汽发生器（4）具有用于加热贮水部（6）并产生水蒸汽的加热装置（5），蒸汽发生器（4）通过蒸汽供给管线与所述内部（3）相连。蒸汽发生器（4）通过供水管线（8）连接到不加压的水容器（9），所述水容器（9）被设置为：在产生蒸汽期间，使得所述水容器（9）中的水位超过蒸汽发生器（4）中的水位。
内部加湿进行改进实验室气候

[发明专利]对内部加湿进行改进的实验室用培养箱-CN201210305517.2无效
发明人： U·霍恩坦纳;W·皮恰莱克;H·施塔尔 -专利权人：热电子LED有限公司
申请日： 2012-08-24 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： C12M1/04 文献下载
摘要：本发明涉及实验室用气候箱（1），尤其是加气的培养箱，其具有由外壳（2）封住的内部（3）及设置在内部之外的蒸汽发生器（4），蒸汽发生器通过蒸汽供给管线（5）连接到内部（3）。蒸汽发生器被设计为基本上是不加压的容器（40），其具有底部区域（41）和位于底部区域上方的蒸汽区（42），底部区域被设计为容纳贮水部（6）并具有用于加热贮水部（6）的加热装置（7），蒸汽供给管线在蒸汽区所在的区域中离开蒸汽发生器，空气供给管线（8）通向蒸汽发生器以将环境空气供给到其中，并通过蒸汽供给管线（5）以基本上不加压的形式将富含水蒸汽的空气引入培养箱（1）的内部（3）中。本发明还涉及这种培养箱的操作方法。
内部加湿进行改进实验室培养

[发明专利]用于制造密封圈的方法-CN200880101095.9无效
发明人： H·施塔尔 -专利权人：卡尔弗罗伊登柏格两合公司
申请日： 2008-07-23 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： F16J15/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造密封圈(1)的方法，其中由连续板条(2)形成环件(3)，该板条(2)通过激光切割定尺寸地切割成环周，该板条(2)的互相接触的边缘(4、5)通过激光焊接以材料结合的方式互相连接。
用于制造密封圈方法

[发明专利]用于制造密封圈的方法-CN200780004843.7有效
发明人： H·施塔尔;N·施纳贝尔 -专利权人：卡尔弗罗伊登柏格两合公司
申请日： 2007-02-01 - 公布日： 2009-03-04 - 主分类号： F16J15/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造密封圈(1)的方法，在该方法中首先由板材(2)形成空心筒(3)，其中板材(2)的相接触的边缘(4，5)材料接合地连接，该连接形成为使得沿相接触的边缘(4，5)至少在外周侧上形成隆起(6)，该隆起在后续加工中被平整。
用于制造密封圈方法

[发明专利]带有双膜片的微机械膜片传感器-CN200580048189.0无效
发明人： M·伊林;H·韦伯;C·舍林;H·施塔尔;S·魏斯 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2005-12-21 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明描述了一种用于制造微机械膜片传感器的方法以及一种借助所述方法制造的微机械膜片传感器。在此规定，微机械膜片传感器具有至少一个第一膜片和一个基本上在第一膜片之上的第二膜片。此外还规定，微机械膜片传感器具有第一空腔和基本上在第一空腔之上的第二空腔。
带有膜片微机传感器

[发明专利]制备胰岛素敏化剂及其中间体化合物的方法-CN200480017600.3无效
发明人： W·戈林;U·霍夫曼;M·斯卡洛内;H·施塔尔;王绍宁 -专利权人：霍夫曼－拉罗奇有限公司
申请日： 2004-06-21 - 公布日： 2006-07-26 - 主分类号： C07D419/14 文献下载
摘要：本发明涉及制备式(I)化合物的一种新方法，并且任选将式(I)化合物转化成可药用盐，其中R¹和R²如说明书和权利要求所定义。式(I)化合物以及相应的盐，例如钠盐是药物活性物质。
制备胰岛素敏化剂及其中间体化合物方法

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