专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]等离子体处理装置和等离子体处理装置的维护方法-CN202010194926.4有效
  • 大矢和广;黑田学 - 东京毅力科创株式会社
  • 2020-03-19 - 2023-06-23 - H01J37/32
  • 本发明提供等离子体处理装置和等离子体处理装置的维护方法。用等离子体化的处理气体进行基片的处理的等离子体处理装置包括设置于被供给处理气体的处理容器内的载置台,该载置台载置作为处理对象的基片。支轴部包括从背面侧支承载置台,贯通处理容器的壁部而伸出到外部的伸出部分,并且与使载置台绕轴旋转的旋转机构连接。高频电源部供给等离子体处理用的高频电功率,高频屏蔽件覆盖伸出部分的支轴部以抑制高频的泄漏。支轴部和高频屏蔽件包括将其在长度方向分割的、能够一体拆卸的组件部。本发明的维护作业简单。
  • 等离子体处理装置维护方法
  • [发明专利]半导体装置-CN200410033206.0有效
  • 古贺义宏;黑田学;浅井登;舟桥和年 - 松下电器产业株式会社
  • 2004-03-26 - 2004-09-29 - G06F12/08
  • 提供一种半导体装置,页(14)分别被分割成例如16千字节,在各页(14)中分别对应设置保存了地址等信息的标签(15)。在此,4个页(14)集中构成一个存储区(16),该存储区(16)为分开4个设置的4存储区结构。按每页(14)具有标签(15),程序或者数据的更换按照程序的处理流程进行调度并执行。通过与处理流程一致而在事先进行存储器更换,可以高速存取大规模程序或者数据。这样,可以削减存储器的更换所需要的存储器转送,并且可以削减消耗电力。
  • 半导体装置

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