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[发明专利]半导体结构的形成方法-CN202210337785.6在审
发明人： 黄郁仁;谢竺君;廖修汉 -专利权人：华邦电子股份有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H10B41/30 文献下载
摘要：一种半导体结构的形成方法，包括提供半导体基板，于其上形成多个浮置栅极，以及位于各浮置栅极之间的隔离结构；执行第一刻蚀工艺以凹蚀隔离结构，在各浮置栅极之间形成开口，并露出各浮置栅极的部分侧壁；顺应地形成衬层于开口中；执行离子注入工艺，将掺质注入衬层下方的隔离结构之中；以及执行第二刻蚀工艺，移除衬层以及衬层下方部分的隔离结构，使开口的底部形成渐缩的轮廓。通过本发明实施例的方法，可利用较便利的工艺进行浮置栅极之间的隔离结构的刻蚀，避免露出浮置栅极的底切结构，同时有助于后续的控制栅极的材料的填充。
半导体结构形成方法

[发明专利]高电子迁移率晶体管元件及其制造方法-CN202210351336.7在审
发明人：周志文;陈信宏;黄郁仁;黄珞荞;叶柏显;卢志竤 -专利权人：力晶积成电子制造股份有限公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L29/778 文献下载
摘要：本发明公开一种高电子迁移率晶体管元件及其制造方法，包括沟道层、第一阻障层、栅极结构与间隙壁。第一阻障层设置在沟道层上。栅极结构设置在第一阻障层上。栅极结构包括第一P型氮化镓层、第二阻障层与第二P型氮化镓层。第一P型氮化镓层设置在第一阻障层上。第二阻障层设置在第一P型氮化镓层上。第二P型氮化镓层设置在第二阻障层上。第二P型氮化镓层的宽度小于第一P型氮化镓层的宽度。间隙壁设置在第二P型氮化镓层的侧壁上。
电子迁移率晶体管元件及其制造方法

[发明专利]半导体结构以及埋入式场板结构的制造方法-CN202210271075.8在审
发明人：张家豪;黄郁仁;陈信宏 -专利权人：力晶积成电子制造股份有限公司
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体结构以及埋入式场板结构的制造方法。半导体结构包括基底、多个埋入式场板结构以及栅极。基底包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面。埋入式场板结构包括导电结构以及围绕导电结构的绝缘结构。导电结构包括沿垂直于基底的第一表面的方向上安置的多个部分，且平行于基底的第一表面的方向上的多个部分具有不同的宽度。
半导体结构以及埋入板结制造方法

[发明专利]半导体元件及其制造方法-CN202111338518.2在审
发明人：郑英琪;黄郁仁;陈信宏 -专利权人：力晶积成电子制造股份有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L29/423 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体元件以及一种半导体元件的制造方法，所述半导体元件包括基底以及栅极结构。基底具有沟槽。栅极结构设置于沟槽中，且包括遮蔽栅极、控制栅极、第一绝缘层、第二绝缘层以及第三绝缘层。遮蔽栅极包括下部栅极以及上部栅极。下部栅极包括由多个电极组成的阶梯式结构，且多个电极中的一者的宽度随着越远离上部栅极而越小。上部栅极设置于下部栅极上，且上部栅极的宽度小于最靠近上部栅极的下部栅极中的电极的宽度。控制栅极设置于遮蔽栅极上。第一绝缘层设置于遮蔽栅极与基底之间。第二绝缘层设置于遮蔽栅极上，以将遮蔽栅极与控制栅极分隔。第三绝缘层设置于控制栅极与基底之间。
半导体元件及其制造方法

[发明专利]一种多晶硅芯片、多晶硅晶锭及制造多晶硅晶锭的方法-CN201310337326.9有效
发明人：黄颂修;蓝明姿;朱釜萱;黄郁仁 -专利权人：国硕科技工业股份有限公司
申请日： 2013-08-05 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明提出一种关于降低铸造多晶硅晶锭内缺陷的密度的结晶结构与方法，该多晶硅晶锭用于多晶硅太阳能电池的硅芯片的基板。本发明的重点为限制传统铸造多晶硅现有的树枝状结晶的结晶结构的成长，以限制晶粒的尺寸与形状。透过如此的结晶结构可以减少树枝状结晶成长时，各个大型晶体交错导致的缺陷集中区，从而降低硅晶锭内缺陷密度并大幅提升太阳能电池的开路电压以及转换效率。本发明的特征包括a)硅芯片主要由尺寸较均匀的结晶晶粒所组成；b)结晶晶粒的长径与短径比值不大于3或结晶晶粒的长宽比值不大于3；c)硅芯片主要由接近圆形的结晶晶粒所组成；及d)圆度介于0.4～1.0。
一种多晶芯片硅晶锭制造方法

[发明专利]触摸屏装置及其省电控制方法-CN201010298202.0有效
发明人： 黄郁仁;吴镔崇;纪明理;王德胜;连建荣;刘陶鑫 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2010-09-30 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：一种触摸屏装置，包括触摸屏、UI(用户界面)控制单元和扫描控制单元。用户界面控制单元用于根据用户界面设定有效触摸区域，并将区域设定信号传送给扫描控制单元。扫描控制单元用于根据区域设定信号确定与有效触摸区域对应的扫描区域，启动对扫描区域的扫描，并在用户完成触摸输入操作后停止对扫描区域的扫描。其中，当触摸屏进入另一用户界面后，用户界面控制单元重新设定有效触摸区域，扫描控制单元根据重新设定的有效触摸区域确定新的扫描区域。本发明还提供一种触摸屏装置的省电控制方法。本发明提供的触摸屏装置及其省电控制方法省去了对用户触摸无效的区域的扫瞄，降低了触摸屏的功耗，缩减扫描时间从而提高触摸屏的响应速度。
触摸屏装置及其控制方法