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- [实用新型]掩模板更换装置-CN200920223114.7有效
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肖琨;沈鹏;郭慧鹏;宋晓栋;鲁成祝
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北京京东方光电科技有限公司
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2009-09-25
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2010-06-09
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H01L21/687
- 本实用新型公开了一种掩模板更换装置,包括存储有掩模板的掩模板贮存房、掩模板工作台和用于将所述掩模板在所述掩模板贮存房和掩模板工作台之间进行移动更换的掩模板存取部件;所述掩模板存取部件包括:掩模板存取叉和掩模板装载臂,所述掩模板装载臂上设置有用于夹持所述掩模板的机械手;所述掩模板装载臂上的位于所述机械手的上方设置有用于在掩模板运送过程中对所述掩模板的上表面进行遮盖保护的上盖。本实用新型使得掩模板在运送过程中伴有该上盖的保护,从而有效阻止了掩模板在运送到掩模板工作台的过程中可能发生的微粒附着问题,避免了后续工艺中因掩模板附着微粒而造成光刻工艺重复性不良,提高了产品良率。
- 模板更换装置
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