专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种真空加热衬底设备-CN202211164987.1有效
  • 刘镇颉;柳雪;宋宇;魏佳楠;韩影;殷皓 - 拓荆科技股份有限公司
  • 2022-09-23 - 2023-08-18 - C23C16/458
  • 本发明涉及半导体制造技术领域,更具体的说,涉及一种真空加热衬底设备。本发明提供了一种真空加热衬底设备,包括衬底处理腔室、真空吸附式加热装置和压力控制系统;所述真空吸附式加热装置,设置在衬底处理腔室的内部,用于放置衬底并进行加热;所述压力控制系统包括吸附子系统、解吸附子系统、清洁子系统和压力调节子系统;所述解吸附子系统,可通断地与吸附子系统相连接,用于对衬底实现解吸附,所述解吸附子系统设置有颗粒收集器,对工艺过程中累积的颗粒进行收集。本发明提供的真空加热衬底设备,在提高衬底薄膜均匀性的同时避免了压力控制系统频繁更换的问题。
  • 一种真空加热衬底设备
  • [实用新型]一种半导体装置及半导体设备-CN202223047596.X有效
  • 阮大鹏;阚金卓;柳雪;魏佳楠;殷皓 - 拓荆科技股份有限公司
  • 2022-11-16 - 2023-04-25 - H01L21/683
  • 本实用新型涉及半导体加工技术领域,具体提供了一种半导体装置及半导体设备,所述半导体装置包括:反应腔室,所述反应腔室内设有加热盘;真空夹持组件,与所述反应腔室内的所述加热盘连接;其中,所述真空夹持组件的数量与所述反应腔室数量相对应,在所述真空夹持组件为偶数个的情况下,偶数个所述真空夹持组件对称设置。这样,每一个反应腔室配备一个独立的真空夹持组件,各自工作、互不影响,还可以减小工艺副产物抽出速度,减小副产物积累造成的管路堵塞、阀门内漏的现象,进而提高晶圆吸附效果、减少异常工艺表现。
  • 一种半导体装置半导体设备
  • [发明专利]一种半导体装置及半导体加工工艺方法-CN202211420787.8在审
  • 阮大鹏;高级;柳雪;魏佳楠 - 拓荆科技股份有限公司
  • 2022-11-11 - 2023-03-07 - H01L21/683
  • 本发明提供了一种半导体装置及半导体加工工艺方法,涉及半导体加工技术领域,所述半导体装置包括:反应腔室;加热盘,设于所述反应腔室内;所述加热盘上开设有吸附孔;前级管道,顶端与所述反应腔室连通,底端与真空泵连接;真空吸附管路,包括第一至第三连接管路;所述第一至第三连接管路分别连通所述加热盘、所述前级管道的顶端和底端。这样,通过对所述第一至第三阀门的逻辑控制,使所述第一至第三阀门在时序控制下转动,以切换所述第一至第三连接管路导通或阻断状态,从而将真空吸附管路中的残留气体完全排空,提升真空吸附效果、降低晶圆吸附不牢靠而掉落的现象、减少产品错误率和能源浪费。
  • 一种半导体装置加工工艺方法
  • [实用新型]一种工程造价用信息宣传装置-CN202121237926.4有效
  • 魏佳楠 - 魏佳楠
  • 2021-06-03 - 2022-01-18 - F16M11/04
  • 本申请公开了一种工程造价用信息宣传装置,包括电子宣传显示屏、固定底座、固定板、万向轮、限位固定结构、稳定结构和清洁结构,所述电子宣传显示屏的两侧处均固定连接有固定板,两个所述固定板上均开设有限位孔,所述固定底座的底面处固定安装有万向轮,所述固定底座的上表面两侧处均固定连接有支撑桩,所述支撑桩的内部开设有内腔。本申请通过限位固定结构可以较为方便的对电子宣传显示屏进行固定,便于对电子宣传显示屏进行卸下,便于后期对电子宣传显示屏的维修等工作,本申请能够较为方便的进行搬运移动,同时本申请具有稳定结构,通过稳定结构可以使得本装置较为稳定的放置在地面上,不易倾斜。
  • 一种工程造价信息宣传装置
  • [实用新型]一种核电站用事故总信号装置-CN202023300193.2有效
  • 尚一凡;彭雄伟;兰天;谢金平;王声学;魏佳楠;杨锡宏;何少华;杨乃林;任利;李烨刚 - 江苏核电有限公司
  • 2020-12-31 - 2021-11-16 - G21D1/02
  • 本实用新型属于核电站电气技术领域,具体涉及一种核电站用事故总信号装置。本实用新型包括检修压板模块、信号采集模块、信号合成模块、人机交互界面、信号上送模块、端子转接模块,检修压板模块向信号采集模块传送检修压板状态信号;信号采集模块向端子转接模块传送采集到的信号;信号合成模块向端子转接模块传送合成的间隔事故信号、机组人工停机信号和全厂事故总信号;信号上送模块向端子转接模块传输信号;端子转接模块向信号合成模块传递来自信号采集模块的采集信号,向人机交互界面、信号上送模块传送来自信号合成模块的合成信号。本实用新型可以正确采集、合成间隔事故信号、机组人工停机信号和全厂事故总信号三种信号并上送电网调度。
  • 一种核电站用事信号装置
  • [发明专利]一种核电站用事故总信号装置-CN202011620502.6在审
  • 尚一凡;彭雄伟;兰天;谢金平;王声学;魏佳楠;杨锡宏;何少华;杨乃林;任利;李烨刚 - 江苏核电有限公司
  • 2020-12-31 - 2021-04-20 - G21D1/02
  • 本发明属于核电站电气技术领域,具体涉及一种核电站用事故总信号装置。本发明包括检修压板模块、信号采集模块、信号合成模块、人机交互界面、信号上送模块、端子转接模块,检修压板模块向信号采集模块传送检修压板状态信号;信号采集模块向端子转接模块传送采集到的信号;信号合成模块向端子转接模块传送合成的间隔事故信号、机组人工停机信号和全厂事故总信号;信号上送模块向端子转接模块传输信号;端子转接模块向信号合成模块传递来自信号采集模块的采集信号,向人机交互界面、信号上送模块传送来自信号合成模块的合成信号。本发明可以正确采集、合成间隔事故信号、机组人工停机信号和全厂事故总信号三种信号并上送电网调度。
  • 一种核电站用事信号装置

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