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- [发明专利]一种晶圆片剥离装置-CN202310767493.0有效
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马胜南
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南轩（天津）科技有限公司
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2023-06-27
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2023-10-20
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H01L21/67
- 本发明公开了一种晶圆片剥离装置，包括盒体、切割装置、定位装置、限位组件及推进组件，盒体的前内侧壁、后内侧壁和底壁形成为连续的向下凹陷的承载弧面，限位组件固接在盒体的左内侧壁上，推进组件固接在盒体的右内侧壁上，推进组件沿靠近或远离限位组件的方向伸缩。根据本发明的晶圆片剥离装置，通过设置承载弧面，晶圆片可以整齐放置在承载弧面上，解胶液可以清洗残留的胶水，推进组件可以将晶圆片压紧在限位组件上，实现晶圆片的整齐码放，而且随着靠近限位组件的晶圆片不断转移到后续加工装置，通过推进组件的伸长可以始终压紧剩余的晶圆片，从而形成剥离晶圆片这一工序的循环，实现了自动化剥离晶圆片，节省了人工成本，提高了作业效率。
- 一种晶圆片剥离装置
- [实用新型]一种吸盘结构-CN202122930640.0有效
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马胜南
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南轩（天津）科技有限公司
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2021-11-26
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2022-10-18
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B25J15/06
- 本实用新型公开了一种吸盘结构，包括吸盘、连接头A、连接头B和气动接头，还包括止退机构和强化机构，所述止退机构由环圈A、环圈B、定位孔A、定位孔B、定销和胶棱构成，在吸盘上方的连接头A与气动接头下方的连接头B处设置有止退机构，当连接头A与连接头B对向旋接锁紧后，环圈B处的定位孔B与环圈A处的定位孔A竖向垂直，此时将定销的底端销体穿过定位孔A后嵌入定位孔B内，而定销借助挤压变形后的胶棱与定位孔A和定位孔B进行软性连接嵌合，借助止退机构对连接头A和连接头B之间的定位止退锁紧，可以阻止连接头A和连接头B之间逆时针旋转松退。
- 一种吸盘结构
- [实用新型]一种硅片边缘刻蚀吸盘定位机构-CN202123002250.3有效
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马胜南
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南轩（天津）科技有限公司
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2021-12-02
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2022-06-07
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H01L21/68
- 本实用新型公开了一种硅片边缘刻蚀吸盘定位机构，包括底座、安装座和固定台，所述底座正上方设有安装座，所述安装座顶端固定连接有固定台，所述固定台等距设有多个，所述固定台顶端固定胶粘有限位垫，所述固定台顶端开设有第一通孔，所述固定台内部设有空腔，所述空腔内设有吸盘本体和抽气管，所述吸盘本体顶端与空腔顶端内壁固定连接，所述吸盘本体底端与抽气管顶端固定连接，所述安装座内设有第一安装腔，所述第一安装腔内设有抽气泵和第一电源，所述底座内设有第二安装腔，所述第二安装腔内设有电动推杆，所述电动推杆顶端连接有活塞杆。硅片能够吸附在固定台的顶端，实现对硅片位置进行限定的目的。
- 一种硅片边缘刻蚀吸盘定位机构
- [实用新型]一种多功能清洗槽-CN202121231639.2有效
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马胜南;陈永春
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北京南轩兴达电子科技有限公司
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2021-06-03
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2022-04-19
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B08B3/12
- 本实用新型公开了一种多功能清洗槽，包括架体，所述架体内侧通过螺栓安装倾斜板，且倾斜板顶部一侧通过螺栓及安装架分别安装有一号储液槽、磷酸槽、混酸槽和水洗槽，所述磷酸槽内放置有PTFE投入式加热器，所述水洗槽内一侧顶部通过螺栓安装喷淋管，所述倾斜板底部一端通过预留孔及螺栓安装排水管，且排水管一端贯穿架体；PTFE投入式加热器可以对磷酸槽内部的液体进行加热，以满足清洗需求。本实用新型一种多功能清洗槽，能够实现多种清洗方式，并且，多个槽体同时排水时的排水速度不会被干扰，适合被广泛推广和使用。
- 一种多功能清洗
- [实用新型]一种锗二极管加工用锗片清洗机-CN202120913768.3有效
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马胜南
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南轩（天津）科技有限公司
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2021-04-29
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2021-12-28
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B08B3/10
- 本实用新型公开了一种锗二极管加工用锗片清洗机，包括清洗柜、支撑架和金属网板，还包括加热液箱、出液管和抽液管，所述清洗柜内一端顶部至底部通过卡箍分别安装有出液管，所述清洗柜内另一端顶部至底部通过卡箍分别安装有抽液管，所述出液管和抽液管一侧分布开设有流通口，所述出液管的一端设有第一集水管，所述抽液管的一端设有第二集水管，所述清洗柜一侧通过螺栓安装有循环泵。整体锗二极管加工用锗片清洗机使用稳定高效，能够助于清洗液料充分与二极管进行接触，有助于清洗过程中，对清洗产生的废料进行收集，以增加高温清洗液料与二极管的充分接触，大大增加二极管处理的效率，具有较高的实用性。
- 一种二极管工用清洗
- [实用新型]一种用于硅片的自动去边机-CN202120913817.3有效
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马胜南
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南轩（天津）科技有限公司
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2021-04-29
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2021-12-28
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种用于硅片的自动去边机，包括支撑架、工作台和排气嘴，还包括圆形转动块和压块，所述支撑架顶部通过螺栓安装有工作台，所述工作台顶部通过螺栓安装有剥离台，所述剥离台内贯穿开设有转动槽，所述转动槽内设有圆形转动块，所述圆形转动块顶部开设有环形吸气口，所述圆形转动块底部设有伺服电机，所述伺服电机顶部驱动端通过螺栓与圆形转动块安装连接。整体硅片的自动去边机使用稳定高效，能够大大提高硅片与分切后的边角料剥离的可靠性，大大降低手工去边分离出现的硅片损坏率高的现象出现，具有较高的实用性。
- 一种用于硅片自动去边机
- [实用新型]一种全自动碱腐蚀清洗机-CN202120939769.5有效
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马胜南
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南轩（天津）科技有限公司
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2021-05-06
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2021-12-28
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B08B3/02
- 本实用新型公开了一种全自动碱腐蚀清洗机，包括清洗箱、箱盖和设备槽，还包括清洗液箱和圆形网篮，所述清洗箱内底部贯穿开设有设备槽，所述清洗箱内顶部通过螺栓固定安装有支撑板，所述支撑板中部嵌设有轴承，所述轴承的外轴套与支撑板通过螺栓安装连接，所述轴承的内轴套内通过键销卡接安装有内六角套，所述内六角套底部设有圆形网篮。整体碱腐蚀清洗机使用稳定高效，能够实现对物品进行自动化旋转碱腐蚀清洗，且因驱动电机装配于箱盖顶部，有效降低驱动电机驱动端的支撑压力，从而大大降低清洗箱渗漏现象的出现，增加清洗工作稳定性，具有较高的实用性。
- 一种全自动腐蚀清洗
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